蓝岸探针台FA系列FA-2000参数

蓝岸探针台 FA 系列 FA-2000 是面向实验室、科研与工业现场的高稳定性定位平台，能够在微米级乃至亚微米级别实现精密探针定位与电学测试。该系列以模块化设计、低噪声驱动与灵活对位能力著称，广泛应用于半导体材料表征、MEMS/传感器测试、薄膜电阻与导电性研究等场景。无论是需要高平整度的晶圆对位还是对小尺寸样品的快速测试，FA-2000 都能提供可靠的定位基准和重复性数据支撑。

核心参数概览

• 型号与版本
• FA-2000 标准版：平衡性能与性价比，适合中等规模实验与日常测试。
• FA-2000S 快速对位版：优化对位时间与重复性，适合频繁切换样品的应用场景。
• FA-2000X 超高分辨版：提高分辨率与定位精度，面向对齐要求更高的研究工作。
• 线性运动与定位
• X・Y 行程：标准版 60 mm×60 mm；快速对位版 60 mm×60 mm；高分辨版 80 mm×80 mm
• Z 行程：25 mm（全系通用配置），提供较大工作深度以适配探针针头高度变化
• 微定位分辨率：X/Y 0.5 μm（标准版），X/Y 0.2 μm（高分辨版），Z 0.2 μm（标准版/高分辨版一致
• 重复性与稳定性
• 定位重复性：≤1.5 μm（标准版），≤0.8 μm（快速对位版），≤0.5 μm（超高分辨版）
• 噪声与温漂：低热膨胀材料与低温漂设计，适应 15–30°C 常温工作环境；台面选配有温控腔体以进一步降低热漂
• 载荷与样品兼容性
• 最大载荷：2–3 kg 级别，适配常见探针卡、夹具与样品盘
• 样品台尺寸：标准 60 mm×60 mm，部分选型可提供更大工作台以容纳多探针组合
• 接口与软件
• 控制接口：USB、以太网、GPIB（可选）并行/串行数据传输
• 软件环境：BlueProbe Control 及兼容 API；支持脚本化操作、自动化测试序列与数据导出
• 结构与材料
• 机身结构：铝镁合金框架＋高刚性墙体，辅以低摩擦涂层的导轨，降低阶段摩擦与热耦合
• 探针对位组件：光学对中模块（标准版为机械对中+光学辅助，超高分辨版强化光学对中能力）
• 环境与集成
• 工作条件：常温下稳定工作，具备抗震设计以降低来自实验台或设备风扇的干扰
• 扩展能力：兼容多种探针针头、夹具、夹持机构，方便快速切换测试任务

主要特点与应用要点

• 模块化设计保障可升级性：核心定位单元、样品台与探针对位单元分离，用户可按任务需求增添对位模组或更高分辨的传感器接口。
• 高稳定性驱动体系：低振动电机或伺服驱动结合高刚性导轨，能够在长时间测试中保持重复性，减少因定位误差引入的数据偏差。
• 先进对位能力：光学对中模块与机械对中结合，能够在显微镜视野内快速锁定样品中心，降低人工对位时间，提高实验产出率。
• 数据与自动化集成：提供脚本化接口，支持批量测试、序列化探针加载与自动采集，便于建立可追溯的测试流程与数据链路。
• 易维护性与扩展性：核心部件标准化、易于拆装；可选夹具、探针针头和热控腔等配件使系统能够覆盖从材料测试到器件表征的多样任务。

场景化FAQ

• FA-2000 系列最适合哪些场景？ 适用于晶圆/薄膜材料的电学测试、微结构特征的探针表征、MEMS 器件的封装前测试，以及需要高重复性定位的科研工作。对位速度与分辨率的组合可根据版本选择以匹配不同研究节奏。
• 如何选择标准版、快速对位版或超高分辨版？ 若日常测试需平衡成本与稳定性，标准版就足够；若对位频次高且希望缩短等待时间，快速对位版更合适；若研究对定位精度和重复性要求极高，超高分辨版提供更低的定位误差与更优的对中能力。
• 设备有哪些常用的配件与扩展选项？ 常用有探针针头夹具、晶圆夹具、可替换的光学对中模组、温控腔体、真空夹具、不同尺寸的样品台，以及多通道数据采集接口。多数选项支持快速更换以实现多任务切换。
• 安装与日常维护需要注意哪些要点？ 需在水平稳定的工作台安置，确保供电与地线良好，软件与驱动版本保持同步。日常维护包括清洁样品台、检查导轨润滑、定期校准对中与重复性，以及对接头与缆线的防拉扯管理。
• 软件与自动化开发方面有哪些优势？ 提供可扩展的 API，支持 Python 等脚本语言进行自动化测试、数据采集与结果回传；可将批量测试任务编排成序列，便于建立标准化的实验流程和数据日志。
• 设备的保修与售后服务通常覆盖哪些内容？ 常规为硬件保修+现场或远程技术支持，按地区提供定期保养服务与软件升级，具体条款以销售协议为准。对于关键部件，供货方通常提供替换件及技术培训选项。

总结 FA-2000 系列以灵活的版本组合、稳定的定位性能和丰富的对位能力，成为实验室与工业场景中常用的探针台解决方案。通过对比不同版本的参数与特点，研究人员可以在精度、对位速度与成本之间实现平衡。若需进一步了解具体版本的官方数据手册、尺寸图以及适配的夹具清单，建议联系蓝岸授权渠道以获得新版的详细规格与安装服务。