上海晶诺微工业在线膜厚测量设备 QUASAR-S系列特点

上海晶诺微工业在线膜厚测量设备 QUASAR-S系列是在在线膜厚监测领域打造的一体化解决方案，面向实验室、研发、生产线以及工业级应用。该系列以在线实时数据、快速自校准和广泛材料适应性为核心，帮助用户在涂层沉积、薄膜制备、光学镀膜等工艺中持续掌控膜厚均匀性与工艺一致性。以下内容聚焦产品知识普及，便于工程技术人员快速了解型号差异、技术参数与应用特征。

型号与参数（典型范围，实际以官方数据为准）

• QUASAR-S100

  
  

• 测量原理：基于光谱反射与干涉组合的在线膜厚测量技术，可在多波段条件下实现非接触监测

  
  

• 测量范围：0-2000 nm

  
  

• 测量精度与重复性：±1.5%（典型），重复性约≤0.5%R同级

  
  

• 采样速率：1 Hz 至 10 Hz，可根据产线要求自定义

  
  

• 光源与波长：可选单波段420-700 nm，亦支持多波段覆盖（380-1050 nm）以匹配材料特性

  
  

• 在线工况适应性：15-35°C，RH 20-70%（可选防护等级以现场需求定制）

  
  

• 数据接口与协同：Ethernet、OPC UA，支持远程诊断

  
  

• 电源与体积：100-240 VAC，约40 cm x 40 cm x 20 cm，重量约15 kg

  
  

• 特点概述：模块化探头、快速标定、低温漂，适用于中薄膜场景

  
  

• QUASAR-S400

  
  

• 测量范围：0-4000 nm

  
  

• 测量精度与重复性：±1.2%，重复性≤0.4%R

  
  

• 采样速率：3-5 Hz

  
  

• 环境与适配：5-45°C，10-90% RH

  
  

• 接口与集成：Ethernet、USB、Modbus TCP

  
  

• 电源与尺寸：100-240 VAC，尺寸约60x50x25 cm，重量约25 kg

  
  

• 特色要点：适合中至厚膜在线监控，标定模板丰富，现场快速对位

  
  

• QUASAR-S800

  
  

• 测量范围：0-8000 nm

  
  

• 测量精度与重复性：±1.0%，重复性≤0.3%R

  
  

• 采样速率：多达20 Hz

  
  

• 光源与覆盖：宽谱覆盖，UV-Visible-NIR，满足多材料需求

  
  

• 标定与补偿：自动标定、温度补偿机制

  
  

• 数据接口与云能力：OPC UA、MQTT、REST API

  
  

• 电源与尺寸：100-240 VAC，约75x60x28 cm，40 kg

  
  

• 应用要点：适用于厚膜与薄膜混合沉积场景，提供高对比度的膜厚响应

  
  

核心特点

• 在线连续监测：伴随生产线运行，实时输出膜厚与均匀性数据，减少离线测量带来的停线风险。
• 多波长覆盖：通过宽谱或多波段组合，提升对不同材料体系（如金属、氧化物、有机涂层、柔性膜）的灵敏度与线性响应。
• 自动标定与温控补偿：自带标定模板和温度补偿算法，在工艺温度波动较大的场景保持稳定性。
• 快速集成能力：提供多种工业接口和标准化数据格式，便于接入MES/ERP或工控系统，支持远程诊断与维护。
• 数据管理与追踪：内置数据记录、报警阈值设定、历史趋势分析，便于工艺改进与合规审计。
• 便捷维护设计：模块化探头与简化的日常维护流程，降低停线维护时间。

典型应用场景

• 涂布线的薄膜厚度在线控制，如功能涂层、保护层、光学薄膜的沉积过程
• PVD/CVD 等薄膜沉积工艺的实时膜厚跟踪与均匀性评估
• OLED、柔性显示、晶体管封装等对膜厚一致性要求较高的场景
• 光学镀膜、玻璃基材涂层的厚度监测，确保产品一致性与良率稳定

场景化FAQ 1) 该设备适合监测哪些材料与工艺？答：对金属、氧化物、有机涂层以及复合膜均有良好适应性，尤其在需要在线监测、快速标定和对位的薄膜沉积、涂布及光学镀膜工艺中表现突出。 2) 如何进行初次校准与现场标定？答：设备提供标准化标定模板与在线自检程序，用户在上线初期按指南进行一次性全量标定，后续可通过简单的日常自检维持标定状态。 3) 在线膜厚与产线速率的关系如何？答：系统通过高采样率与多波段算法实现对瞬态厚度变化的敏感捕获，适配中速到高速线性生产线，必要时可调节采样频率以避免数据冗余。 4) 与MES/工控系统的对接难度大吗？答：提供OPC UA、Modbus TCP、MQTT、REST API等主流接口，文档完备，二次开发与数据云端接入通常较为直接。 5) 如何确保不同材料的测量一致性？答：通过多波段测量与材料表征库的建立，结合自动标定、温度补偿与现场模板，提升跨材料的一致性与可重复性。 6) 维护周期与故障排除要点？答：日常检查探头清洁、连接端口完好、供电稳定；常见故障多为连接问题、标定偏离或温度异常，系统提供远程诊断和现场诊断两种方式，便于快速定位。 7) 如何选型，型号之间的差异点在哪里？答：关注测量范围、光谱覆盖、采样速率和数据接口。小型产线以S100为主，中等厚膜需求可考虑S400，厚膜或需要高频数据的场景适合S800，具体以工艺材料与实时性需求为准。 8) 价格区间与维护计划如何？答：价格受型号、防护等级、接口选项及服务包影响，需通过官方网站或经销渠道获取报价。维保通常包含远程诊断、年度标定、现场巡检与紧急响应服务。

若需进一步了解，请提供产线材料体系、目标膜厚范围、产线速度与现有数据接口情况。我可以据此帮助对 QUASAR-S 系列进行更的选型对比与实现路径规划。