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纳米精度 · 芯未来 | Park Systems邀您共赴SEMICON China 2025

来源:Park原子力显微镜公司 更新时间:2025-03-12 17:45:11 阅读量:692
导读:2025年3月26-28日,Park Systems携全新半导体解决方案登陆SEMICON China,邀您亲临E6展馆6455号展位,共同探索未来微观世界的无限可能!

  当半导体工艺不断逼近物理极限,测量技术如何突破边界?

  当芯片良率与研发效率成为制胜关键,精准检测如何驱动产业创新?



2025年3月26-28日,Park Systems携全新半导体解决方案登陆SEMICON China,邀您亲临E6展馆6455号展位,共同探索未来微观世界的无限可能!



【参会指南】


?? 时间:2025年3月26日-28日

?? 地点:上海新国际博览中心

(上海市浦东新区龙阳路2345号上海新国际博览中心)

?? Park展位号:E6馆 6455

?? 电子版邀请函请点击文末‘阅读原文’锁定专属洽谈时段!



Park VIP礼品墙


展会现场准备了洁净室拼装积木,保温杯,Park吉祥物娃娃,毛绒钥匙扣,手机支架,VIP套装等上千份礼品,欢迎您的光临!


【Park Systems:纳米测量领域的全球标杆】


作为原子力显微镜(AFM)与纳米测量技术的行业领导者,Park Systems深耕半导体领域20余年,以**“非接触模式成像”“全自动检测”“工业级稳定性”**三大核心技术,为全球顶尖芯片企业提供:


?? 晶圆表面缺陷分析
?? 光刻胶3D形貌表征
?? 薄膜厚度精准测量
?? 材料成分红外光谱解析


从研发实验室到量产产线,我们让纳米级精度触手可及!


NX-TSH 400TF

半导体Tape Frame封装纳米计量解决方案


Tape Frame无缝兼容: 

NX-TSH400TF支持薄膜Tape Frame样品的直接测量,实现高效无损的操作流程。


纳米级测量精度

实现晶圆图案临界尺寸(CD)、深度及表面粗糙度的纳米级精确测量。


精准量化的3D形貌

完整量化 Cu Pad Recess、Ox层粗糙度等纳米级测量细节,满足 Hybrid Bonding等先进封装的量测需求。


全流程自动化

集成晶圆自动传输系统,涵盖自动定位、测量与分析等,确保工业级测量吞吐量。


超稳定测量环境

采用多级隔离技术,有效抑制颗粒污染、噪声、环境振动及静电干扰,保障测量重复性与稳定性。

FX300 IR

纳米级红外光谱与原子力显微镜联用技术,

支持高精度化学表征。


? AFM与红外光谱联用系统升级分析

?PiFM纳米级分子分析能力, 能够提供~5 nm空间分辨率的红外光谱分析。

? 自动化IR激光校准系统 


www.parksystems.cn

销售热线: 400-878-6829

售后热线: 021-6025-1578


Park北京分公司

北京市海淀区彩和坊路8号天创科技大厦518室


Park上海实验室

上海市闵行区丰虹路199号德必虹桥国际WE 5号楼118


Park广州实验室

广州市天河区五山路200号天河北文创苑B座211


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