当半导体工艺不断逼近物理极限，测量技术如何突破边界？
当芯片良率与研发效率成为制胜关键，精准检测如何驱动产业创新？
2025年3月26-28日，Park Systems携全新半导体解决方案登陆SEMICON China，邀您亲临E6展馆6455号展位，共同探索未来微观世界的无限可能！
? NX-TSH 400TF
半导体Tape Frame封装纳米计量解决方案
- Tape Frame无缝兼容：
NX-TSH400TF支持薄膜Tape Frame样品的直接测量，实现高效无损的操作流程。
- 纳米级测量精度:
实现晶圆图案临界尺寸（CD）、深度及表面粗糙度的纳米级精确测量。
- 精准量化的3D形貌:
完整量化 Cu Pad Recess、Ox层粗糙度等纳米级测量细节，满足 Hybrid Bonding等先进封装的量测需求。
- 全流程自动化:
集成晶圆自动传输系统，涵盖自动定位、测量与分析等，确保工业级测量吞吐量。
- 超稳定测量环境:
采用多级隔离技术，有效抑制颗粒污染、噪声、环境振动及静电干扰，保障测量重复性与稳定性。
FX300 IR
纳米级红外光谱与原子力显微镜联用技术，
支持高精度化学表征。
? AFM与红外光谱联用系统升级分析
?PiFM纳米级分子分析能力， 能够提供~5 nm空间分辨率的红外光谱分析。
? 自动化IR激光校准系统
www.parksystems.cn
销售热线: 400-878-6829
售后热线: 021-6025-1578
Park北京分公司
北京市海淀区彩和坊路8号天创科技大厦518室
Park上海实验室
上海市闵行区丰虹路199号德必虹桥国际WE 5号楼118
Park广州实验室
广州市天河区五山路200号天河北文创苑B座211
全部评论(0条)
相关产品推荐（★较多用户关注☆）
Park NX-3DM工业原子力显微镜
报价：面议 已咨询 989次
Accurion Nano Series 简单铸就效率
报价：面议 已咨询 708次
Park NX20 300mm 用于300毫米晶圆测量和分析的自动化纳米计量工具
报价：面议 已咨询 1001次
Park FX200 高性能200mm样品原子力显微镜
报价：面议 已咨询 2次
Park NX-Hivac 高真空原子力显微镜 为故障分析 和敏感材料研究提供专业的解决方案
报价：面议 已咨询 1033次
Park NX12 用于分析化学的通用型原子力显微镜
报价：面议 已咨询 1006次
Park NX12 用于分析化学的通用型原子力显微镜
报价：面议 已咨询 3次
全自动多功能200毫米样品原子力显微镜
报价：面议 已咨询 710次
你可能还想看
①本文由仪器网入驻的作者或注册的会员撰写并发布，观点仅代表作者本人，不代表仪器网立场。若内容侵犯到您的合法权益，请及时告诉,我们立即通知作者，并马上删除。
②凡本网注明"来源：仪器网"的所有作品，版权均属于仪器网，转载时须经本网同意，并请注明仪器网(www.yiqi.com)。
③本网转载并注明来源的作品，目的在于传递更多信息，并不代表本网赞同其观点或证实其内容的真实性，不承担此类作品侵权行为的直接责任及连带责任。其他媒体、网站或个人从本网转载时，必须保留本网注明的作品来源，并自负版权等法律责任。
④若本站内容侵犯到您的合法权益，请及时告诉,我们马上修改或删除。邮箱：hezou_yiqi
热点文章
【行业观察】机器人跑赢人类马拉松！关节"耐力赛"背后的隐形战场
近期话题
相关产品
在线留言
沪公网安备 31011502008050号
参与评论
登录后参与评论