Park FX200 高性能200mm样品原子力显微镜
Park FX300 300 mm晶圆兼容型原子力显微镜，满足科研实验、质量检测与可靠验证多场景应用需求
Park NX20 Lite用于晶圆测量和分析的高性价比 AFM 系统
Park NX15 功能强大的原子力显微镜提高您的生产力
Park NX20 失效分析的理想选择
Park FX200是Park Systems在原子力显微镜（AFM）领域推出的一款创新机型，可适配最 大200mm的样品。通过优化机械结构设计和信号处理方案，FX200在低噪声基线、热漂移控制以及机械稳定性方面具有优良表现，为纳米级测量提供了可靠支持。
FX200配备Park AFM系列采用的正交扫描系统与True Non-contact™模式，适用于对精细或易损样品的高分辨率测量。
FX200的主要功能包括自动探针更换、自动激光对准以及全视野200mm样品相机，这些设计旨在简化操作、提升实验效率。系统还具备扫描参数自动优化、光学自动对焦、多位置顺序测量及数据分析工具，方便用户完成多样化测量任务。
FX200结合了先进功能与直观的操作界面，为科研和工业领域的纳米成像与分析提供灵活的选择。
主要功能
精密的FX机械设计
FX系列AFM在结构设计上减少了光学显微镜与Z轴平台之间的干扰，降低了机械振动的影响。Z轴平台采用高刚性 交叉滚柱导轨和双轴承座结构，以增强稳定性。
宽梯形支撑结构与低热膨胀材料的组合，有助于在长时间运行中保持稳定性能。
FX激光光路
FX光学结构将光纤耦合激光器（超辐射二极管，SLD）集成到光学显微镜组件中。激光束通过物镜聚焦，并始终固定在光学视场的中心位置。 聚焦后的光斑尺寸较小，有助于减少溢出，并便于配合小尺寸、高频率的悬臂梁探针使用。
自动激光对准
视觉引导对准系统可检测悬臂的形状与位置，然后驱动光学XY平台，将悬臂定位到视场中心，实现激光的精 准对焦。随后，FX扫描头内的两台高精度电机会调节导向反射镜，使激光束与位置灵敏光电探测（PSPD）的中心保持一致。
自动激光束校准结合自动PSPD居中功能，有助于缩短系统调试时间，提升对准过程的稳定性，并为不同经验水平的用户提供更为便捷的操作体验。
自动探针更换
AFM探针的更换过程需要较高的精度操作，若操作不当，可能造成悬臂损坏。Park AFM采用预先校准的探针芯片载体，并配备运动学安装定位点，以提升探针定位的一致性和重复性，从而减少更换过程中产生误差的可能。
每个芯片载体均配有二维码，包含探针类型、序列号、生产日期及规格等信息。
FX系列扫描头的Z扫描器设有三个高精度球座用于运动学安装，并在底部配备磁性结构，以提高安装位置的稳定性和重复精度。
自动探针更换（ATX）模块可存放至多16个预装探针。ATX摄像机读取探针二维码后，SmartScan™ AFM操作软件会显示各插槽的探针信息，用户可通过软件界面选择所需的探针或空闲插槽。
探针槽选择后，AFM扫描头会自动下移，根据底部强磁的位置，从探针槽中取出探针或将当前安装的探针放回探针槽。
样品全视野相机
全视野相机能够拍摄整个样品的宏观图像。用户可在图像中直接点击目标区域，控制XY平台移动至该位置，从而便于定位并在后续测量中回到相同区域，适用于200mm晶圆等大尺寸样品。
改进的同轴光学系统
聚焦后的光斑尺寸较小，有助于减少溢出，并便于配合小尺寸、高频率的悬臂梁探针使用。无遮挡式光学显微镜可提供优化的视场，并能分辨最小至0.87μm的线宽。
Park原子力显微镜技术
正交扫描
传统管式扫描器的AFM系统可能出现平面外运动和轴向串扰，影响图像质量，尤其是在大面积扫描时更为明显。FX200采用Park专有的正交扫描系统，基于柔性铰链架构：二维柔性扫描器驱动样品在XY平面移动，独立的一维柔性扫描器控制探针的Z轴运动。这种分离式扫描结构有助于提升扫描的正交性和线性度，降低平面外运动，并保持良好的动态响应性能。系统配备低噪声光学传感器进行XY反馈，以及低噪声应变规传感器进行Z轴控制。闭环伺服控制系统在各轴向均可实现较高的扫描精度与重复性。
针对大尺寸样品，单伺服XY扫描架构易受样品载台旋转运动的影响，可能产生位置误差，且误差随着与位置传感器的距离增大而加剧。
FX200采用双伺服XY扫描架构：每个轴两侧各装配执行器与位置传感器，四个执行器独立控制，保障200×200mm²样品区域的定位精度。
Park原子力显微镜技术
真正非接触模式 (True Non-contact™ Mode)
FX200配备Park Systems专有的真正非接触模式 (True Non-contact™ Mode) 。该模式通过探测AFM探针与样品表面间的范德华力来获取形貌信息。
查看更多模式说明 →
软件
Park SmartScan™
FX200配备Park SmartScan™ AFM操作软件，通过直观的界面和自动化功能，简化图像采集流程，提升操作效率。
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Park SmartAnalysis™
FX200的扫描数据通过Park SmartAnalysis™分析软件处理。提供快速图像处理、全面的数据分析以及高效的结果输出。
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多领域应用示例
True Non-Contact™ Mode
Patterned Si Device
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True Non-Contact™ Mode
Hyper-branched Polymer
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True Non-Contact™ Mode
Polystyrene Beads
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C-AFM
tBG on hBN
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Park大样品原子力显微镜SmartSimulator
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Vario 系统是基于元件的模块化隔振系统，由至少两个隔离元件和一个外部控制单元组成。 该产品系列专为隔离中型到大型仪器和客户特定应用而设计。 主要型号 Vario Basic 特别适合隔离高静态负载。 这些元件始终成对使用，因此您可以配置两个、四个、六个或更多隔离元件。 我们的产品组合包括三种标准长度，以匹配各种设置的尺寸。
SIMON是专门为日常测量任务而特别设计的。其简单的用户界面和强大的定角椭偏法能够使您轻松进入到椭偏成像领域。它可以在两种不同的模式下运行。其中，显微镜模式非常快，并且允许在最薄层（例如单层：d=0.35nm）中观察变化和缺陷，而椭偏模式则能够测量样品材料的厚度和折射率。 成像椭偏法本身将厚度和折射率测量的灵敏度与显微镜成像相结合。这允许利用例如微结构样品上的微观图像来确定厚度和折射率变化。 典型的应用包括在品控中对大样品的均匀性和缺陷进行表面检查，或对二维材料薄片进行快速定位。
为满足大尺寸平板显示器对原子力计量学日益增长的需求，Park NX-TSH尖端扫描头能够巧妙地处理超过300毫米样品的纳米计量学。其尖端扫描头和龙门式空气轴承阶段能够实现精确的粗糙度、台阶高度和关键尺寸测量。作为一种高精度和非破坏性的方法，使用Park NX-TSH进行的原子力显微镜可以为OLED、LCD、光掩模等提供可靠的高分辨率AFM图像。
Park NX-Hybrid WLI是一种集成的、首创的AFM，内置白光干涉仪，满足从前端到先进封装和研发计量的各种半导体制造需求。它非常适合高通量、大面积测量，能够以亚纳米分辨率和卓越精度放大至纳米级区域。
对于媒介和基体领域的工程师而言，识别纳米级缺陷是一个非常耗时的工作。Park NX-HDM原子力显微镜系统可借助数量级实现自动缺陷识别、扫描和分析，从而加快缺陷的检查过程。Park NX-HDM可与众多的光学检查工具直接进行连接，这就意味着自动缺点检查通量会大幅提高。此外，Park NX-HDM拥有精准的次埃米表面粗糙度测量功能。凭借着业内较低的本底噪声和True Non-Contac技术，Park NX-HDM是目前市面上表面粗糙度测量较为精准的原子力显微镜。
AFM集成的纳米红外光谱技术助力先进材料表征
Park FX200是Park Systems在原子力显微镜（AFM）领域推出的一款创新机型，可适配最大200mm的样品。
Park FX300 旨在打破科研与工业应用之间的界限，成为原子力显微镜领域具有划时代意义的产品。该系统支持多种 AFM 技术， 满足科研实验、质量检测与可靠验证多场景应用需求。此外，Park FX300 提供工业专用的研发功能，如大面积表面粗糙度轮廓分析、精确的晶圆级对准和定向控制、增强光学成像，以及确保超洁净测量环境的污染管理。这些功能使 Park FX300 成为半导体后端工艺、晶圆级封装及其他工业研发的核心解决方案。
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