Park NX15 功能强大的原子力显微镜提高您的生产力

便捷的样品测量（包含多样品扫描）

• 一次可对多个样品自动成像

• 设计的多样本卡盘，一次至多可装载9个单独样品（可选）

• 全电动XY样品台行程可达 150 mm x 150 mm

通过消除扫描器串扰进行精 准的XY扫描

• 独立闭环XY和Z柔性扫描器

• 正交XY扫描

• 无需软件处理即可保留真实可信的样品表面形貌信息

真正非接触模式实现探针使用寿命、成像分辨率和样品的有效保护

• 快速的Z伺服速度，实现真正的非接触模式

• 针尖磨损微小化，可实现长时间的高质量和高分辨率成像

多种模式和选项

• 全面性的测量模式和表征方法

• 可实现可选配件和升级扩展功能

• 用于故障分析(FA)的精密电学测量

Park的串扰消除技术不仅修正了扫描器弓形弯曲的缺点，还能在不同扫描位置、扫描速率和扫描尺寸条件下进行平直正交XY轴扫描。即使是平坦的样品也不会出现如光学平面、各种偏移扫描等背景曲率。因此Park能不惧艰难挑战，为您在研究中提供高精度的纳米测量。

Park AFM 配备了该领域有效的低噪声Z探测器，噪音水平低于0.02 nm,因而达到了样品形貌成像精 准，没有边沿过冲无需校准的高效率。Park NX系列不仅为您提供高精 准的数据，更为您大大节省了时间成本。

True Non-Contact™ 模式是Park原子力显微镜系统专有的扫描模式。该模式通过在扫描过程中防止针尖和样品损坏，产生高清的分辨率和准确的数据。

接触模式下，针尖在扫描过程中持续接触样品；轻敲模式下，针尖周期性地接触样品；而在非接触模式下针尖不会接触样品。因此，使用非接触模式具有几大优势。由于针尖锐度得以保持，所以在整个成像过程中会以高分辨率进行扫描。非接触模式下由于针尖不会直接接触样品表面，从而避免了损坏软样品。

此外，非接触模式可以感知探针与样品原子之间的作用力，甚至可以检测到探针接近样品时产生的横向力。因此，在非接触模式下使用探针可以有效避免撞到样品表面时突然出现的高层结构。而接触模式和轻敲模式只能进行探针底端检测，很容易受到这种撞击伤害。

具有扩展性的 AFM 解决方案

行业领跑——支持广泛的SPM 模式和选项

Park NX15 技术参数