Accurion Vario Series 适用于各种应用的多功能解决方案
Accurion Vario Series 适用于各种应用的多功能解决方案
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Accurion Vario Series 适用于各种应用的多功能解决方案
Park NX12 用于分析化学的通用型原子力显微镜
模块化且灵活
紧凑的尺寸和灵活性使该产品系列非常适合安装在客户特定的应用中。 与光学面包板的组合非常常见,因为它充当隔离元件之间的机械连接。 事实证明,焊接钢框架作为 Vario 系统的稳定支撑结构是成功的。这些框架的目的是在考虑水平和垂直刚度的情况下集成主动隔振系统。通过这样的使用,隔离系统可以根据客户的要求达到方便的工作高度。
主要特点
六个自由度主动隔振
无低频共振 - 低频范围内具有优质的隔振特性
低至1Hz开始主动隔振(>200Hz被动隔振)
只需0.3秒的设置时间
接电即可,无需压缩空气
方便的手动负载调节 - 可选自动调节负载
优良的位置稳定性和刚度
提供多种标准版本和定制选项
外部控制单元

应用









Polytec TopMap on Vario Basic
Performance Demonstration

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已咨询799次桌面式隔振台
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已咨询816次桌面式隔振台
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已咨询171次Keysight是德
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已咨询87次物性分析常用仪器
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已咨询486次板级和系统级功能测试系统
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已咨询679次红外热成像技术
报价:¥1500000
已咨询80次光学轮廓仪
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已咨询551次光谱配件
Vario 系统是基于元件的模块化隔振系统,由至少两个隔离元件和一个外部控制单元组成。 该产品系列专为隔离中型到大型仪器和客户特定应用而设计。 主要型号 Vario Basic 特别适合隔离高静态负载。 这些元件始终成对使用,因此您可以配置两个、四个、六个或更多隔离元件。 我们的产品组合包括三种标准长度,以匹配各种设置的尺寸。
SIMON是专门为日常测量任务而特别设计的。其简单的用户界面和强大的定角椭偏法能够使您轻松进入到椭偏成像领域。它可以在两种不同的模式下运行。其中,显微镜模式非常快,并且允许在最薄层(例如单层:d=0.35nm)中观察变化和缺陷,而椭偏模式则能够测量样品材料的厚度和折射率。 成像椭偏法本身将厚度和折射率测量的灵敏度与显微镜成像相结合。这允许利用例如微结构样品上的微观图像来确定厚度和折射率变化。 典型的应用包括在品控中对大样品的均匀性和缺陷进行表面检查,或对二维材料薄片进行快速定位。
为满足大尺寸平板显示器对原子力计量学日益增长的需求,Park NX-TSH尖端扫描头能够巧妙地处理超过300毫米样品的纳米计量学。其尖端扫描头和龙门式空气轴承阶段能够实现精确的粗糙度、台阶高度和关键尺寸测量。作为一种高精度和非破坏性的方法,使用Park NX-TSH进行的原子力显微镜可以为OLED、LCD、光掩模等提供可靠的高分辨率AFM图像。
Park NX-Hybrid WLI是一种集成的、首创的AFM,内置白光干涉仪,满足从前端到先进封装和研发计量的各种半导体制造需求。它非常适合高通量、大面积测量,能够以亚纳米分辨率和卓越精度放大至纳米级区域。
对于媒介和基体领域的工程师而言,识别纳米级缺陷是一个非常耗时的工作。Park NX-HDM原子力显微镜系统可借助数量级实现自动缺陷识别、扫描和分析,从而加快缺陷的检查过程。Park NX-HDM可与众多的光学检查工具直接进行连接,这就意味着自动缺点检查通量会大幅提高。此外,Park NX-HDM拥有精准的次埃米表面粗糙度测量功能。凭借着业内较低的本底噪声和True Non-Contac技术,Park NX-HDM是目前市面上表面粗糙度测量较为精准的原子力显微镜。
AFM集成的纳米红外光谱技术助力先进材料表征
Park FX200是Park Systems在原子力显微镜(AFM)领域推出的一款创新机型,可适配最大200mm的样品。
Park FX300 旨在打破科研与工业应用之间的界限,成为原子力显微镜领域具有划时代意义的产品。该系统支持多种 AFM 技术, 满足科研实验、质量检测与可靠验证多场景应用需求。此外,Park FX300 提供工业专用的研发功能,如大面积表面粗糙度轮廓分析、精确的晶圆级对准和定向控制、增强光学成像,以及确保超洁净测量环境的污染管理。这些功能使 Park FX300 成为半导体后端工艺、晶圆级封装及其他工业研发的核心解决方案。