「Park FX300 300 mm晶圆兼容型原子力显微镜，满足科研实验、质量检测与可靠验证多场景应用需求」价格、参数、图片

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产品特点：

Park FX300 旨在打破科研与工业应用之间的界限，成为原子力显微镜领域具有划时代意义的产品。该系统支持多种 AFM 技术，满足科研实验、质量检测与可靠验证多场景应用需求。此外，Park FX300 提供工业专用的研发功能，如大面积表面粗糙度轮廓分析、精确的晶圆级对准和定向控制、增强光学成像，以及确保超洁净测量环境的污染管理。这些功能使 Park FX300 成为半导体后端工艺、晶圆级封装及其他工业研发的核心解决方案。

产品详情：

满足工业检测与科研分析复合需求

面向科研与质量检测的300 mm晶圆专用原子力显微镜

能够测量大至 300 mm 的晶圆，适用于多种高级原子力显微镜应用，包括选配的AFM-IR 应用。

更低的噪音和更小的热漂移

增强的机械结构降低了操作噪音、热漂移，并实现了更集中的SLD光束，突破了以往的限制。这显著提高了测量精度和高分辨率成像能力。

小激光光斑尺寸

• 通过物镜聚焦SLD光束，激光光斑尺寸小
• 11µm的SLD光束直径使快速成像悬臂更具适用性

更快的Z伺服性能

• 由强力压电叠层驱动，并由柔性结构引导
• 新的FX AFM电子控制器提供更快的Z伺服性能和更高的精度

faster-zservo-performance.jpg_v=0.jpg

专业的工业研发应用

配备配方化常规测量、长程轮廓扫描与可旋转样品台的工业研发功能。

集成工业级设施

工业级一体化设计，配备设施控制器、带有紧急制动装置的信号指示塔，以及选配的风机过滤单元（FFU）污染控制解决方案。

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