Park AFM-IR纳米红外光谱系统
Park NX20 Lite用于晶圆测量和分析的高性价比 AFM 系统
Park NX-Hivac 高真空原子力显微镜 为故障分析 和敏感材料研究提供专业的解决方案
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Park NX15 功能强大的原子力显微镜提高您的生产力
Park原子力显微镜-红外光谱(AFM-IR)系统,将原子力显微镜(AFM)与光诱导力显微镜(PiFM)技术结合使用。Park AFM-IR的关键特性,在实现纳米尺度分子振动成像的同时,仍可保持AFM的全部功能,支持全面的形貌、纳米力学、电学与热学分析。
凭借PiFM模式能够同步解析化学成分与表面形貌,Park AFM-IR纳米红外光谱系统成为光热光谱、纳米级红外成像、半导体检测以及量子光学研究的理想工具。
主要功能

简化的纳米红外测量自动化工作流程
Park AFM-IR纳米红外光谱系统基于FX平台的自动化技术,涵盖探针更换和视觉引导的AFM激光对准功能,并在此基础上扩展了专用于红外测量的自动化功能。
该系统配备全自动红外光束对准流程,可利用PiFM信号作为反馈定位光束位置,提高实验稳定性与重复性。

SmartScan™自动红外光束对准
SmartScan™可实现自动红外光束对准。使用抛物面镜(PM)执行器完成全行程扫描后,系统会自动识别 PiFM 信号强度的峰值位置,实现高精度光束对准,并在尽可能减少用户干预的情况下优化信号质量。
真正的非接触式(True Non-Contact™)红外测量
Park AFM-IR纳米红外光谱系统利用光诱导力显微镜(PiFM)实现真正的非接触式红外测量,可在AFM探针与样品表面保持不接触的情况下检测光诱导力。该方法避免了接触式技术常见的样品损坏和探针污染问题,实现优于5nm的空间分辨率,并延长探针的使用寿命。
非接触模式反馈机制在整个测量过程中保持探针与样品的精确间距,确保在软质或敏感材料上也能获得高度可重复的结果。简化的操作流程使用户能够专注于测量结果而非繁琐设置,从而让AFM-IR分析比以往任何时候都更加可靠、易用。

PiFM的可选检测模式
Park AFM-IR纳米红外光谱系统提供两种不同的检测模式,用户可根据样品特性和分析目标优化测量。直接模式将激光调谐至悬臂的谐振频率,从而尽可能提高信号强度,适用于更广泛或更深入的样品响应探测。
边带模式则通过差频(f1 - f0),调制激光,选择性检测探针与样品交界面的非线性相互作用。该模式能够在低背景干扰下实现高度局域化的化学对比度,特别适合解析复杂或异质表面上的细微特征。

优化检测频率以实现稳定的PiFM成像
要实现稳定可靠的高分辨率PiFM成像,仅依靠共振是不够的,还需要精确的频率跟踪。当AFM探针扫描具有不同机械特性的材料时,探针与样品之间的相互作用可能会改变悬臂的谐振频率。若调谐不当,这种失谐可能导致信号衰减和机械伪差。
Park AFM-IR纳米红外光谱系统通过逐像素自动扫描窄频范围,并选择最 佳检测频率来解决这一问题。这可确保系统在整个扫描过程中始终与实际谐振条件保持同步,从而维持强信号、减少伪差,并提升信噪比(SNR),最 终在异质样品上实现可靠的化学成像.

Park原子力显微镜技术
Photo-induced Force Microscopy
光诱导力显微镜(PiFM),利用可调谐红外激光在分子振动共振频率下激发时产生的光诱导力。在Park AFM-IR光谱仪中,AFM悬臂以非接触模式运行,可在无需接触样品表面的情况下,检测这些力。
随着激光波长的扫描,悬臂振动幅度的变化会直接反映局部红外吸收特性,从而生成光谱和化学图像。这种全非侵入式方法能够实现真正的纳米级化学表征,达到优于5nm的空间分辨率和单层灵敏度,并助力研究人员可视化原子级的分子组成。

多领域应用示例

PiFM
Ps-b-PMMA Block Copolymer
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PiFM
Teflon defect on SiO₂
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PiFM
e-Beam Damage on ArF Photo Resist
了解更多 →
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Park NX-Hybrid WLI是一种集成的、首创的AFM,内置白光干涉仪,满足从前端到先进封装和研发计量的各种半导体制造需求。它非常适合高通量、大面积测量,能够以亚纳米分辨率和卓越精度放大至纳米级区域。
对于媒介和基体领域的工程师而言,识别纳米级缺陷是一个非常耗时的工作。Park NX-HDM原子力显微镜系统可借助数量级实现自动缺陷识别、扫描和分析,从而加快缺陷的检查过程。Park NX-HDM可与众多的光学检查工具直接进行连接,这就意味着自动缺点检查通量会大幅提高。此外,Park NX-HDM拥有精准的次埃米表面粗糙度测量功能。凭借着业内较低的本底噪声和True Non-Contac技术,Park NX-HDM是目前市面上表面粗糙度测量较为精准的原子力显微镜。
AFM集成的纳米红外光谱技术助力先进材料表征
Park FX200是Park Systems在原子力显微镜(AFM)领域推出的一款创新机型,可适配最大200mm的样品。
Park FX300 旨在打破科研与工业应用之间的界限,成为原子力显微镜领域具有划时代意义的产品。该系统支持多种 AFM 技术, 满足科研实验、质量检测与可靠验证多场景应用需求。此外,Park FX300 提供工业专用的研发功能,如大面积表面粗糙度轮廓分析、精确的晶圆级对准和定向控制、增强光学成像,以及确保超洁净测量环境的污染管理。这些功能使 Park FX300 成为半导体后端工艺、晶圆级封装及其他工业研发的核心解决方案。
Park NX12是一体化的纳米级显微镜解决方案。它提供高分辨率成像和多种属性测量功能。它在电化学研究方面表现理想,服务于广泛研究学科的多用户设施。该适应性平台涵盖从纳米机械映射、扫描离子导电显微镜到倒置光学显微镜等一系列应用。其灵活性通过可选的硬件和软件附加组件得到进一步增强,使其成为分析研究人员和多用户设施用户的理想选择。