Park NX12 用于分析化学的通用型原子力显微镜
Park AFM-IR纳米红外光谱系统
Park NX20 Lite用于晶圆测量和分析的高性价比 AFM 系统
Park NX-Hivac 高真空原子力显微镜 为故障分析 和敏感材料研究提供专业的解决方案
Park NX-Hivac 高真空原子力显微镜 为故障分析 和敏感材料研究提供专业的解决方案
考虑建立多用户设备
Park NX12力求重新构建，以适应许多用户设备需求。其他原子力显微镜解决方案缺乏必要的多功能性，难以满足该设备中用户的多重需求，很难合理控制设备成本。然而，Park NX12旨在能够容纳标准环境原子力显微镜成像，液体扫描探针显微镜，光学和纳米光学成像，使其成为灵活的原子力显微镜之一。
用于透明材料研究的倒置光学显微镜
通过验证的NX10性能 通过倒置光学显微镜样品平台，Park NX12将Park原子力显微镜的多功能性和准确性相结合。这使得使用者更容易的使用纳米管技术去研究透明，不透明，或软或硬的样品。
高分辨率移液管基扫描离子导电显微镜
NX12 提供一种基于移液管的高分辨率扫描离子导电显微镜（SICM）扫描系统，用于成像软样品。
具有多属性测量功能的纳米分辨率AFM成像
Park NX12 是一种用于纳米级分辨率成像，具有电、磁、热和机械属性测量功能的原子力显微镜。它可以执行多种功能，包括PinPoint™液体内和纳米机械映射、倒置光学显微镜用于定位透明样品、SICM用于成像软样品，以及增强视觉以改善透明样品的光学性能。
共享用户设施的模块化平台
多功能应用
Park NX12功能广泛，包括液体中的PinPoint ™和纳米力学，倒置光学显微镜定位透明样品，离子电导显微镜软样品成像，以及改善透明样品光学性能的可视性。
综合性的力谱方法
Park NX12提供了一种在液态和空气中的纳米力学表征的解决方案，使其成为广泛应用中的理想选择.
模块化
NX12模块化设计，安装简单，兼容性强，可以满足您的多种实验需求。
为什么精 准的小样品 AFM 也是易于使用的？
简单的探针和样品更换
专有的设计能让您轻易地用手从侧面更换新的探针和样品。借助安装悬臂式探针夹头中预先对齐的悬臂，无需再进行繁杂的激光校准工作。
闪电般快速的自动近针
自动的探针样品进针功能能让用户无需进行干预操作。通过监测悬臂接近表面的反应，Park NX10能够在悬臂装载后十秒内开始并自动快速完成探针样品进针操作。高速Z轴扫描器的快速信息反馈和NX电子控制器的低噪声信号处理使得无需用户干预就能快速接触样品表面。
快速精 准的SLD光校准
凭借我们领跑的预校准悬臂架，悬臂在装载时SLD光便已聚焦完毕。此外，自上而下的同轴视角可以让您轻松找到光点。由于SLD光垂直照在悬臂上，您可通过旋转两个定位按钮直观地在X轴Y轴移动光点。这样您可以在激光准直页面中轻易找到SLD光并将其定位在PSPD上。此时您只需要稍微调整信号，便可开始获取数据。
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Vario 系统是基于元件的模块化隔振系统，由至少两个隔离元件和一个外部控制单元组成。 该产品系列专为隔离中型到大型仪器和客户特定应用而设计。 主要型号 Vario Basic 特别适合隔离高静态负载。 这些元件始终成对使用，因此您可以配置两个、四个、六个或更多隔离元件。 我们的产品组合包括三种标准长度，以匹配各种设置的尺寸。
SIMON是专门为日常测量任务而特别设计的。其简单的用户界面和强大的定角椭偏法能够使您轻松进入到椭偏成像领域。它可以在两种不同的模式下运行。其中，显微镜模式非常快，并且允许在最薄层（例如单层：d=0.35nm）中观察变化和缺陷，而椭偏模式则能够测量样品材料的厚度和折射率。 成像椭偏法本身将厚度和折射率测量的灵敏度与显微镜成像相结合。这允许利用例如微结构样品上的微观图像来确定厚度和折射率变化。 典型的应用包括在品控中对大样品的均匀性和缺陷进行表面检查，或对二维材料薄片进行快速定位。
为满足大尺寸平板显示器对原子力计量学日益增长的需求，Park NX-TSH尖端扫描头能够巧妙地处理超过300毫米样品的纳米计量学。其尖端扫描头和龙门式空气轴承阶段能够实现精确的粗糙度、台阶高度和关键尺寸测量。作为一种高精度和非破坏性的方法，使用Park NX-TSH进行的原子力显微镜可以为OLED、LCD、光掩模等提供可靠的高分辨率AFM图像。
Park NX-Hybrid WLI是一种集成的、首创的AFM，内置白光干涉仪，满足从前端到先进封装和研发计量的各种半导体制造需求。它非常适合高通量、大面积测量，能够以亚纳米分辨率和卓越精度放大至纳米级区域。
对于媒介和基体领域的工程师而言，识别纳米级缺陷是一个非常耗时的工作。Park NX-HDM原子力显微镜系统可借助数量级实现自动缺陷识别、扫描和分析，从而加快缺陷的检查过程。Park NX-HDM可与众多的光学检查工具直接进行连接，这就意味着自动缺点检查通量会大幅提高。此外，Park NX-HDM拥有精准的次埃米表面粗糙度测量功能。凭借着业内较低的本底噪声和True Non-Contac技术，Park NX-HDM是目前市面上表面粗糙度测量较为精准的原子力显微镜。
AFM集成的纳米红外光谱技术助力先进材料表征
Park FX200是Park Systems在原子力显微镜（AFM）领域推出的一款创新机型，可适配最大200mm的样品。
Park FX300 旨在打破科研与工业应用之间的界限，成为原子力显微镜领域具有划时代意义的产品。该系统支持多种 AFM 技术， 满足科研实验、质量检测与可靠验证多场景应用需求。此外，Park FX300 提供工业专用的研发功能，如大面积表面粗糙度轮廓分析、精确的晶圆级对准和定向控制、增强光学成像，以及确保超洁净测量环境的污染管理。这些功能使 Park FX300 成为半导体后端工艺、晶圆级封装及其他工业研发的核心解决方案。
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