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Accurion SIMON 您的成像椭偏仪入门之选
Accurion EP4 成像椭偏仪
Accurion EP4 成像椭偏仪
Accurion EP4 成像椭偏仪
Accurion RSE 快速晶圆检测
纳米膜的表面检测计量
典型应用：大面积检测和自动片材搜索
SIMON设计用于自动拼接大面积区域，过渡平滑。可以在47分钟内检查一个完整的4英寸晶圆，同时观察小至10微米的缺陷、颗粒和不均匀性。SIMON还允许搜索具有所需厚度的片材或材料。通过SIMON的成像功能，可以对单次测量进行直方图分析，并详细了解厚度或不均匀性的分布。
微结构的厚度和折射率测量
椭偏仪和显微镜的结合可以测量样品的厚度图。这些图与AFM测量结果相当，但也可以测量非顶层。此外，成像椭偏仪将在不到1分钟的时间内测量约500微米（X）x 550微米（Y）的厚度图。厚度分辨率在0.01 nm < d < 5 μm*的范围内低于0.01 nm。椭偏模式还可以确定折射率。这使用户能够确定折射率变化，例如在激光刻写的全息光栅中发生的变化。因此，可以可视化并观察到波导中看到的折射率的微小变化。*取决于样品/基板的组合
主要功能
易操作的入门级系统
成像椭圆偏振仪，横向椭偏分辨率低至1µm的成像椭偏仪
微观结构的厚度和折射率测量
大面积层厚分布和隐藏缺陷的快速可视化
应用
成像光谱椭偏仪表征石墨烯和其他2D材料，使用ep4椭偏仪分析CVD生长、剥离和外延生长的薄片。
椭偏法测量平面和曲面上的薄膜和AR涂层。ep4椭偏仪解决了微透镜阵列上的AR涂层问题。
透明基板上的薄膜是柔性显示器的关键。刀刃照明抑 制反射，允许非破坏性检查。
硅烷化在涂料和粘合剂中结合矿物/无机和有机成分。成像椭偏法在没有荧光标记的结构阵列中检查键合形成。
空气/水界面在生物物理学和工业中至关重要。布儒斯特角显微镜(BAM)可视化Langmuir-Blodgett单分子层和生物材料，研究分子、蛋白质、药物、DNA和纳米粒子。
各向异性微晶体在电子学中具有前景。成像穆勒矩阵椭偏法(IMME)测量各向异性薄膜样品（如黑磷）的折射率和光轴方向。
成像椭偏法(IE)对单层和亚单层厚度具有高灵敏度。它提供了椭偏角的显微图和厚度变化的对比模式。像细胞和QCM-D这样的附件增强了其生物应用能力。
光谱椭偏法测量小至1µm的MEMS结构，提供0.1nm薄膜厚度分辨率。单次测量提供厚度、折射率、成分和污染。ECM模式允许快速质量控制和曲面测量。
光谱椭偏法以1µm横向分辨率和0.1nm厚度分辨率测量光纤和波导。覆盖190nm到1700nm，提供光学数据和快速质量控制。
微米级区域的光谱测量使用ROI概念在一次运行中进行多次测量。190nm的UV范围表征显示材料。单次测量提供厚度、分散和成分，RCE6模式允许不到20秒的节拍时间。
在操作成像椭偏法监测充电和放电期间的电池电极材料，测量Delta和Psi的微观地图。提供来自各个区域的数据，后处理分析包括轮廓、子区域和直方图分析。
报价：面议
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SIMON是专门为日常测量任务而特别设计的。其简单的用户界面和强大的定角椭偏法能够使您轻松进入到椭偏成像领域。它可以在两种不同的模式下运行。其中，显微镜模式非常快，并且允许在最薄层（例如单层：d=0.35nm）中观察变化和缺陷，而椭偏模式则能够测量样品材料的厚度和折射率。 成像椭偏法本身将厚度和折射率测量的灵敏度与显微镜成像相结合。这允许利用例如微结构样品上的微观图像来确定厚度和折射率变化。 典型的应用包括在品控中对大样品的均匀性和缺陷进行表面检查，或对二维材料薄片进行快速定位。
为满足大尺寸平板显示器对原子力计量学日益增长的需求，Park NX-TSH尖端扫描头能够巧妙地处理超过300毫米样品的纳米计量学。其尖端扫描头和龙门式空气轴承阶段能够实现精确的粗糙度、台阶高度和关键尺寸测量。作为一种高精度和非破坏性的方法，使用Park NX-TSH进行的原子力显微镜可以为OLED、LCD、光掩模等提供可靠的高分辨率AFM图像。
Park NX-Hybrid WLI是一种集成的、首创的AFM，内置白光干涉仪，满足从前端到先进封装和研发计量的各种半导体制造需求。它非常适合高通量、大面积测量，能够以亚纳米分辨率和卓越精度放大至纳米级区域。
对于媒介和基体领域的工程师而言，识别纳米级缺陷是一个非常耗时的工作。Park NX-HDM原子力显微镜系统可借助数量级实现自动缺陷识别、扫描和分析，从而加快缺陷的检查过程。Park NX-HDM可与众多的光学检查工具直接进行连接，这就意味着自动缺点检查通量会大幅提高。此外，Park NX-HDM拥有精准的次埃米表面粗糙度测量功能。凭借着业内较低的本底噪声和True Non-Contac技术，Park NX-HDM是目前市面上表面粗糙度测量较为精准的原子力显微镜。
AFM集成的纳米红外光谱技术助力先进材料表征
Park FX200是Park Systems在原子力显微镜（AFM）领域推出的一款创新机型，可适配最大200mm的样品。
Park FX300 旨在打破科研与工业应用之间的界限，成为原子力显微镜领域具有划时代意义的产品。该系统支持多种 AFM 技术， 满足科研实验、质量检测与可靠验证多场景应用需求。此外，Park FX300 提供工业专用的研发功能，如大面积表面粗糙度轮廓分析、精确的晶圆级对准和定向控制、增强光学成像，以及确保超洁净测量环境的污染管理。这些功能使 Park FX300 成为半导体后端工艺、晶圆级封装及其他工业研发的核心解决方案。
Park NX12是一体化的纳米级显微镜解决方案。它提供高分辨率成像和多种属性测量功能。它在电化学研究方面表现理想，服务于广泛研究学科的多用户设施。该适应性平台涵盖从纳米机械映射、扫描离子导电显微镜到倒置光学显微镜等一系列应用。其灵活性通过可选的硬件和软件附加组件得到进一步增强，使其成为分析研究人员和多用户设施用户的理想选择。
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