Park NX-TSH AFM System for Ultra-large and Heavy Flat Panel Displays at Nanoscale
Park NX-Hybrid WLI 将白光干涉测量引入AFM技术 用于半导体计量
Park NX-3DM工业原子力显微镜
Park NX-Wafer 业界引领的用于产线计量方案的自动化AFM
专为大型纳米平板显示器测量而设计的自动化原子力显微镜（AFM）系统
专为大型纳米平板显示器测量而设计的自动化原子力显微镜（AFM）系统
随着对大型平板显示器原子力显微镜计量需求的增加，Park NX-TSH 通过利用探针扫描器和龙门式气浮台的结合，克服了针对大型和重型样品进行纳米计量的巨大挑战。Park NX-TSH能获得高分辨率的表面粗糙度测量，台阶高度测量和关键尺寸测量。 为OLED面板行业整片测量，超高尺寸镜片测量，提供全自动的原子力显微镜计量解决方案。
随着对大型平板显示器原子力显微镜计量需求的增加，Park NX-TSH 通过利用探针扫描器和龙门式气浮台的结合，克服了针对大型和重型样品进行纳米计量的巨大挑战。Park NX-TSH能获得高分辨率的表面粗糙度测量，台阶高度测量和关键尺寸测量。 为OLED面板行业提供整片测量，大尺寸镜片测量，提供全自动的原子力显微镜计量解决方案。
专为OLED面板行业整片测量，LCD测量提供的全自动探针扫描器解决方案
在大面板显示制造领域，特别是对于超过300毫米的样品，精 准的计量是至关重要的。这个行业面临的挑战是在大尺寸衬底上精 准测量和分析纳米级特征，这对于确保最 终产品如OLED和LCD的质量和性能至关重要。Park System s通过专用于大面板扫描的AFM技术来应对这一挑战。
大样品分析的可靠方法
倾心为新一代显示器工厂的应用需求研发设计 Park原子力显微镜公司已经扩展了原子力显微镜设备的测量尺寸，Park NX-TSH（龙门架设计平板式探针扫描器）可针对第八代及大于第八代的大型平板显示器进行测量。倾心为新一代显示器工厂的应用需求研发设计，样品尺寸上限可达2200 mm。
专为新一代显示器工厂的应用需求研发设计
Park原子力显微镜公司已经扩展了原子力显微镜设备的测量尺寸，Park NX-TSH（龙门架设计平板式探针扫描器）可针对第八代及大于第八代的所有大型平板显示器进行测量。专为新一代显示器工厂的应用需求研发设计，样品尺寸上限可达2200 mm。
硅片直径的变化
使用导电原子力显微镜，Park NX-TSH 使用可选探针站测量样品表面，该探针站接触样品表面并向小设备或晶圆片上的设备提供电流。Park NX-TSH用于带有导电原子力显微镜的2D编码器样品，通过集成微探针站进行电气缺陷分析。
自动化尖 端扫描头系统
Park NX-TSH 尖 端扫描头系统为生产下一代平板显示器的制造商提供了增强的灵活性和精度。通过将样品固定在夹盘上并使用龙门架安装的尖 端扫描头，它有效地克服了样品尺寸和重量的限制。专门为应对超过300毫米阈值限制的工厂面临的挑战而开发，Park NX-TSH 提供了全面的解决方案。通过导电AFM功能，它能够精确测量样品表面，此外还通过可选探针站进一步增强，这些探针站有助于将电流引入晶圆上的器件。
自动测量控制，简易操作测量更精 准
NX-TSH配备自动化软件，使用测量程序便可获得精 准的多点分析，并对悬臂梁调谐、扫描速率、增益和设定点参数进行优化设置。 Park人性化设计的软件可使用户自由访问NX-TSH的全部功能并获得所需的测量值。 创建新的测量程序其实很简单，从开始创建到能够自动化运行只需大约10分钟的时间，而对创建过的程序进行修改的话也只需不到5分钟。
闭环的100μmx 100μm柔性导向XY扫描器
XY扫描器由对称的二维挠曲和高强度压电叠层组成，它微小化的面外运动能提供高度的正交扫描，用超快的响应来完成纳米尺度上精 准的样品扫描。
具有低噪声位置传感器的15μm高速Z扫描器
NX-TSH利用其超低噪声Z检测器代替了通常使用的非线性Z电压信号，可为用户提供高精度测量。业界引领的低噪声Z检测器取代了所施加的Z电压作为形貌信号。
专为新一代显示器工厂的应用需求研发设计，样品尺寸上限可达2200mm
Park NX-TSH 通过利用探针扫描器和龙门式气浮台的结合，克服了针对大型和重型样品进行纳米计量的巨大挑战，可扫描出高分辨率图像。
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已咨询6472次原子力显微镜
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已咨询1157次小样品原子力显微镜
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已咨询216次SPM耗材
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已咨询183次SPM耗材
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已咨询169次SPM耗材
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已咨询1151次光掩模修复
为满足大尺寸平板显示器对原子力计量学日益增长的需求，Park NX-TSH尖端扫描头能够巧妙地处理超过300毫米样品的纳米计量学。其尖端扫描头和龙门式空气轴承阶段能够实现精确的粗糙度、台阶高度和关键尺寸测量。作为一种高精度和非破坏性的方法，使用Park NX-TSH进行的原子力显微镜可以为OLED、LCD、光掩模等提供可靠的高分辨率AFM图像。
Park NX-Hybrid WLI是一种集成的、首创的AFM，内置白光干涉仪，满足从前端到先进封装和研发计量的各种半导体制造需求。它非常适合高通量、大面积测量，能够以亚纳米分辨率和卓越精度放大至纳米级区域。
对于媒介和基体领域的工程师而言，识别纳米级缺陷是一个非常耗时的工作。Park NX-HDM原子力显微镜系统可借助数量级实现自动缺陷识别、扫描和分析，从而加快缺陷的检查过程。Park NX-HDM可与众多的光学检查工具直接进行连接，这就意味着自动缺点检查通量会大幅提高。此外，Park NX-HDM拥有精准的次埃米表面粗糙度测量功能。凭借着业内较低的本底噪声和True Non-Contac技术，Park NX-HDM是目前市面上表面粗糙度测量较为精准的原子力显微镜。
AFM集成的纳米红外光谱技术助力先进材料表征
Park FX200是Park Systems在原子力显微镜（AFM）领域推出的一款创新机型，可适配最大200mm的样品。
Park FX300 旨在打破科研与工业应用之间的界限，成为原子力显微镜领域具有划时代意义的产品。该系统支持多种 AFM 技术， 满足科研实验、质量检测与可靠验证多场景应用需求。此外，Park FX300 提供工业专用的研发功能，如大面积表面粗糙度轮廓分析、精确的晶圆级对准和定向控制、增强光学成像，以及确保超洁净测量环境的污染管理。这些功能使 Park FX300 成为半导体后端工艺、晶圆级封装及其他工业研发的核心解决方案。
Park NX12是一体化的纳米级显微镜解决方案。它提供高分辨率成像和多种属性测量功能。它在电化学研究方面表现理想，服务于广泛研究学科的多用户设施。该适应性平台涵盖从纳米机械映射、扫描离子导电显微镜到倒置光学显微镜等一系列应用。其灵活性通过可选的硬件和软件附加组件得到进一步增强，使其成为分析研究人员和多用户设施用户的理想选择。
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