华中科技大学段国韬等: 纳米材料与MEMS的“微纳合奏”传感芯片

华中科技大学段国韬等开发了定制化自组装装备，实现了SnO?纳米球在水-空气界面的单层有序自组装，并将完整薄膜无损转移至8英寸硅片表面。所得单层膜呈致密六方排列结构，厚度均一，为高一致性器件制造奠定基础。随后，在平面晶圆阶段完成光刻与lift-off图形定义，实现敏感区域的精准控制。然而在TMAH释放悬臂梁过程中，研究发现纳米膜并非被直接溶解，而是因下方SiO?绝缘层被侵蚀而整体脱落。针对这一机制，研究团队引入约10.5 nm厚的ALD HfO?界面钝化层。该层有效抑制OH-与Si界面反应，避免界面破坏，使纳米膜在长时间湿法腐蚀后仍保持完整结构。基于上述工艺，团队在8英寸晶圆上成功制备Pd/SnO? MEMS H传感芯片，实现从材料合成、自组装转移、图形化、界面保护到悬浮释放的全流程晶圆级制造。

I 自组装单层构筑：从粉体到晶圆级均匀薄膜

如图1所示，研究团队首先从界面物理机制出发，构建了可动力学调控的纳米颗粒自组装体系。在水-空气界面上，SnO?纳米球在界面张力梯度驱动与颗粒间静电排斥力协同作用下，自发形成六方紧密排列的单层结构。与传统滴涂或旋涂方式不同，该方法通过精确控制注射速率以及液面下降速度，实现界面组装过程的可控演化，从而避免多层堆积与局部塌陷。基于此，单层薄膜在8英寸晶圆上实现转移。光学显微与SEM统计结果显示，纳米颗粒排列高度有序，薄膜厚度均一。该结果证明，自组装不仅可以实现微观有序结构构筑，也能够满足晶圆级制造对宏观均匀性的严苛要求，为纳米材料规模化应用奠定关键工艺前提。

图1. 在8英寸晶圆上进行纳米材料的自组装和集成。

II 界面钝化护航：破解湿法腐蚀失效机制

如图2所示，在TMAH湿法腐蚀释放悬浮MEMS结构过程中，研究发现纳米薄膜并非因自身溶解而失效，而是腐蚀液穿透多孔结构后侵蚀下方SiO?绝缘层，导致界面脱附与整体剥离。截面表征与时间序列腐蚀实验表明，界面破坏是限制纳米膜兼容MEMS工艺的根本原因。

针对这一机制，团队引入约10.5 nm厚的ALD HfO?钝化层，构建致密阻隔界面。HfO?层有效抑制OH-向Si界面的扩散与反应，在长时间腐蚀后仍保持界面完整。腐蚀前后结构对比显示，钝化层存在时纳米膜形貌保持稳定，无明显脱落或裂纹扩展。该策略不仅提升单层自组装膜的耐腐蚀能力，也支持多层结构与不同纳米材料体系的稳定存在，体现出良好的材料普适性与工艺兼容性。

图2. SnO?薄膜失效机理分析及HfO?钝化保护作用。

如图3所示，本研究采用成膜-图形化-释放的工艺重构路径。在平面阶段完成光刻定义，避免悬浮结构导致后续光刻胶塌陷或光刻胶引发悬浮结构膜层断裂等问题。图形化后的敏感区域与微加热器实现精准对位，显著提升器件结构完整性与良率。结果验证了晶圆级自组装与界面钝化技术在实际器件层面的可制造性与可靠性。

图3. HfO?界面钝化图案化技术的保护效果。

III 晶圆级制造示范与规模化潜力

如图4所示，团队在8英寸晶圆上成功完成Pd/SnO? MEMS氢气传感芯片的批量集成制造。晶圆级加工过程实现从材料构筑、图形化、界面钝化到结构释放的完整闭环。不同区域芯片性能分布均匀，说明工艺在晶圆尺度具备良好稳定性。实验测试表明，芯片在300 °C工作条件下响应稳定，线性范围覆盖1–500 ppm氢气浓度区间。统计25个随机选取器件，其响应偏差低于5%，显示出优异的一致性与可重复性。

图4. MEMS H传感芯片的制造工艺及性能评估。

IV 总结

本研究提出了一种适用于纳米材料兼容三维MEMS传感芯片的晶圆级自组装与界面钝化图形化集成技术。通过构建“film-first, cantilever-later”的工艺策略，实现了纳米材料在MEMS结构释放前的图形化定义，从而避免了悬浮结构阶段转移材料带来的结构损伤与工艺不稳定问题。

在晶圆级自组装过程中，SnO?纳米球在水-空气界面形成均匀单层薄膜结构，并成功转移至8英寸晶圆，实现大面积、高一致性的功能薄膜构筑。针对TMAH湿法腐蚀释放过程中纳米膜失效问题，研究系统揭示了腐蚀液穿透多孔膜后侵蚀下方SiO?界面层是导致整体脱落的根本原因。为此，引入ALD HfO?界面钝化层有效抑制OH?扩散与界面反应，显著提升了纳米膜在湿法腐蚀过程中的结构稳定性。

基于上述技术路线，成功实现Pd/SnO? MEMS氢气传感芯片的晶圆级制造。器件表现出良好的线性响应、较快的响应速度以及优异的一致性，验证了该集成策略在实际MEMS传感器制造中的可行性与可靠性。

总体而言，本研究建立了一种兼具可图形化、可扩展性与工艺兼容性的纳米材料晶圆级集成方法，为高性能MEMS传感芯片的规模化制造提供了有效技术路径。

段国韬

本文通讯作者

华中科技大学 教授

▍主要研究领域

MEMS生化传感器技术。

▍主要研究成果

华中科技大学集成电路学院/武汉光电国家研究中心教授，博士生导师，长期从事MEMS生化传感器与应用技术研究，基于仿生、单原子催化等手段设计制备多种超高选择性纳米气敏材料，提出了MEMS与纳米气敏材料结合的低功耗传感芯片新结构，开展高性能纳米材料MEMS气体传感芯片硅基晶圆级制造技术研究，推动传感器在环境、工业与公共安全等领域应用。

▍Email：duangt@hust.edu.cn

撰稿：原文作者

编辑：《纳微快报(英文)》编辑部

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