如何借助微纳技术对MEMS微流量传感器进行原型测试？

1. 微流量传感器

MEMS微流量传感器是一种热力学流传感器，其敏感体主要由硅基半导体材料制成，这种材料易于MEMS加工，也采用玻璃基体的方式。下面这个是其中的一种例子图示。

图1  微流量传感器图片

2. 验证的目的

MEMS微流量传感器原型验证以达到优化工艺的目的。

与纯半导体器件不同，新的微机电系统（MEMS）的开发总是需要新的生产工艺。至少必须修改工艺配方和模块，因为目前仍然不能像半导体开发中惯用的那样依靠新的微机械部件的标准配方。

3. 技术要点

如果主要由机械性能决定的结构要素要正常工作，那么系统设计和优化的过程设计都是必不可少的。因此，原型验证不仅可以确认设计，而且还可以确认制造过程。为了确定意外的机械行为和模型偏差，通常选择通过激光振动法进行强大的光学测量。

由于其高频带宽，高横向分辨率和出色的振幅分辨率，激光振动计应该是您所要使用的第一个工具，以便您可以可靠地确定MEMS微流量传感器的模态特性，例如传递函数，共振频率，阻尼和偏转形状。地形分析对于组件开发和过程优化也很重要。表面数据（例如台阶高度和其他尺寸）为您提供有关当前工艺参数的有价值的信息，因此您可以可靠地控制MEMS微流量传感器组件的制造过程。

4. 应用实例

以下这个就是CMOS/MEMS微流量传感器原型测试的应用实例。

该图说明了系统分析仪的表面形貌选件进行的CMOS/MEMS流量微传感器的形貌表征。流量微传感器已借助绝缘体上硅（SOI）技术实现。而这个技术使用的是EVG的晶圆加工设备。

图2  CMOS和MEMS共集成微流量传感器原型测试