技术背景
在材料微观表征领域，成分不同但晶体结构高度相似的多相体系，一直是传统EBSD单技术物相鉴定的核心痛点。本次测试的Cu-Al双相纯金属样品便是典型场景： Cu相与Al相为成分完全不同的两种金属，却同属 FCC 面心立方晶体结构，仅依靠 EBSD 技术，无法凭借晶体学信息将两相有效区分，相图极易出现混叠、边界模糊的情况，无法还原真实微观组织；当样品包含超细晶或变形组织时，还需同时兼顾表征精度与采集效率的双重要求，更让传统EBSD表征手段难以胜任。
针对上述局限，布鲁克推出QUANTAX XFlash EDS + eWARP EBSD同步联用方案，通过成分定量+晶体学解析双维度交叉验证，解决相近晶体结构物相的判别难题。
解决方案
布鲁克eWARP直接电子探测EBSD+EDS QUANTAX XFlash 760同步联用模式，实现同一像素、同一时间、同步采集两组核心数据：EBSD菊池衍射花样（晶体学信息）+ EDS能谱（元素定量定性信息），用成分数据弥补晶体学分辨短板，实现精准相分离。
参数设置（低电压、小步长，适配超细晶铜组织）：
10 kV
1245 pps
30 nm pixel size
▲图1
仅使用EBSD采集时，Cu 与 Al虽成分截然不同，但均为 FCC 结构、晶体学特征相近，因而其菊池衍射花样的几何特征高度相似，系统无法通过衍射特征判别相种类，最终相图仅呈现Cu相，无有效相区分，微观组织分布完全失真，无法支撑后续分析。
▲图2
▲图3
启用EDS与EBSD同步联用后，依托EDS精准定量Cu、Al元素分布，结合EBSD晶体学数据进行联合重分析，实现Cu、Al两相完美物相分离，此外，借助eWARP超高灵敏度特性，使用低电压进行EBSD分析，轻松表征变形超细晶铜组织。
1+1>2
布鲁克EDS-EBSD联用价值
破解结构相近、成分不同物相分辨难题
从原理上弥补 EBSD 无成分识别能力的短板，彻底解决同晶系、异成分多相材料的物相分离痛点。
高度适配超细晶与变形组织
低电压高分辨搭配高速采集，兼顾高分辨率与测试效率，使用细步长进行高通量数据采集，适配先进金属、超细晶材料等高要求表征场景。
一次采集、全维度分析
同步获取成分、晶体结构、晶粒取向等多维度信息，简化测试流程、降低误判率，提升科研与工业质控效率。
无论是金属合金、矿物材料还是功能陶瓷，这套方案都能提供更全面、更精准的微观表征解决方案，助力科研与工业质控提质增效。
布鲁克 EDS-EBSD 同步联用技术，以成分定量 + 晶体学解析双维度约束，让同构异质双相材料的物相分离，从 “难以分辨” 变为 “精准高效”，为材料微观表征提供更可靠的解决方案
往期技术应用分享
EBSD真机体验营丨中国科学技术大学
邀请函丨全新一代EBSD技术与应用研讨会
EBSD eWARP测试案例：大变形样品
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