那诺-马斯特 双腔光学元件镀膜系统

NANO-MASTER的NOC-4000光学涂覆系统在一个腔体中提供了先进的光学元件原子级清洗和刻蚀，之后自动把样片传输到第二个腔体进行光学涂覆，这个过程无需中断真空。系统也可以独立使用任一个腔体，每一个带有自己自动的样片上下片功能。
 
另外，除了这两种系统的配置之外，任意两套NANO-MASTER的系统都可以实现类似的双腔传输应用，可以实现两个腔室的互相传送，实现不间断真空的前后工序。

特点：

• 射频偏压样品台

• 膜厚监控仪

• 极限真空可达6x10^-7Torr

• 计算机全自动控制，高精度高重复性

• 高质量薄膜

• 原子级清洗表面

• 原子清洗和打磨

• LabView友好用户界面

• 自动上下片

• 两个腔体之间自动传送

• EMO保护及安全联锁

• 46”x44”的占地面积

  
  

应用：

• 光学涂覆：溅射和离子束辅助沉积

• 反应离子束刻蚀清洗

• 离子铣

• 红外涂覆

• 表面处理

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选配：

• 向下/向上溅射

• 共溅射

• DC，RF和脉冲直流电源

• 离子束辅助沉积

• 电子束蒸镀和等离子源