俄歇电子能谱的历史

俄歇电子能谱，英文名Auger electron spectroscopy，AES是它的简称，是一种材料科学与表面科学的分析技术。俄歇电子能谱之所以如此命名是因为该技术主要通过俄歇效应进行分析。其他外层电子吸收受激发的原子的外层电子跳到低能阶所放出的能量从而使其从原子逃脱离开，这一连串事件叫做俄歇效应，俄歇电子则为逃脱出来的电子。

历史

在最近的十年里，固体表面分析方法发展的速度相当的快，其已经成为分析化学领域中zui活跃的分支之一了。微型电子器件研制、材料科学以及催化研究等有关领域内对各种固体表面现象的了解的迫切需要带动了它的发展。由于建立了各种表面分析方法，很有利的条件被创造提供给了这些领域。

俄歇电子能谱在表面组分分析方法中是除化学分析用电子能谱以外zui重要的一种。到目前为止，其已经在化学、物理、半导体、电子、冶金等有关研究领域中得到了非常广泛地应用。

尽管俄歇电子的径迹早已在1925年被法国人俄歇在威尔逊云室内di一次发现，在1953年，兰德从二次电子能量分布曲线中将俄歇电子谱线辨认出来，可是因为俄歇电子谱线有着较低的强度，其常常在非弹性散射电子的背景中被淹没，因此非常不容易将其检测出来。六十年代末期，因为低能电子衍射的电子光学系统以及电子能量分布函数的微分法被采用，才使得检测俄歇电子的仪器技术有所突破。1969 年在AES谱仪上应用了圆筒形电子能量分析器，使分析的速度和灵敏度得到了进一步的提高。七十年代以来，作为强有力的固体表面化学分析方法，AES已得到了迅速地发展。