等离子体表面处理仪等离子体表面处理仪是通过利用对气体施加足够的能量使之离化成为等离子状态,利用这些活性组分的性质来处理样品表面,从而实现清洁、改性、光刻胶灰化等的目的。等离子体表面处理仪的用途:1、医用材料研究,主要为研究和开发企业或研究所;2、电子领域,应用较为广泛,如电路板等;3、生物芯片领域;4、高端和精密研究的清洗、除污;5、电化学单位,进行表面处理的单位。
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等离子体表面处理仪EMS1050(低温灰化仪)
- 品牌:美国EMS
- 型号: EMS1050
- 产地:美国
EMS1050 低温灰化仪应用领域:l 生物芯片领域l 医用材料、光学材料研究l 电子半导体领域l 高分子材料研究l 电化学、高端零部件处理l 有机材料的灰化、刻蚀 仪器性能:l 自动调频高频发生器l 内置旋转真空泵l 此系统通常使用氧及氩的混合气体,氧去除有机物质(碳氢化合物),氩对样品表面进行刻蚀l 低温等离子灰化、刻蚀、清洗 (0-150 watts RF) l 
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等离子体表面处理仪解决方案
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