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PVA TePla等离子体去胶机
- 品牌:德国PVA TePla
- 型号: IoN Wave 10/380M
- 产地:德国
- 供应商报价: 面议 (市场参考价:¥ 20)
- 北京哲勤科技有限公司 更新时间:2022-07-26 09:28:43
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企业性质生产商
入驻年限第3年
营业执照已审核
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- 详细介绍
PVA-TePla微波等离子体去胶机(整机进口),性能稳定,去胶均匀。
PVA TePla 在微波等离子体处理工艺中的新产品。该批次式晶圆灰化设备成本低廉、尺寸适用、性能先进。使用新的、性能出色的组件和软件,可对工艺参数进行精确控制。其工艺监测和数据采集软件可实现严格的质量控制。占地面积小,安装维护简单。依靠微波等离子体技术,该设备在提供极高的光刻胶灰化速度的同时,较低了产品暴露在静电中风险。
典型应用:
去除光刻胶 Photo-resist stripping
去除残胶 Wafer descum
晶圆和衬底的清洁 Wafer and substrate cleaning
su-8灰化 Su-8 ashing
氮化硅、聚酰亚胺等的刻蚀 Etching of silicon nitride, pi, etc.
刻蚀钝化层 Etching of passivation layers
逆向分析/失效分析中的器件开封 Device decapsulation for failure analysis
微量分析中低温材料灰化 low temperature ashing of materials for chemical trace analysis
过滤器和薄膜的清洁 Cleaning of filters and membranes
规格参数:
2.45GHz风冷微波电源(0~1000w可调),
石英或陶瓷腔体,
防腐蚀不锈钢MFC,
多至6路气体,
兼容8英寸及以下晶圆
PC 工控机控制,运行数据自动存储;分级控制权限,防止操作
图形化触控屏界面,运行状态图形化实时显示。
自动/手动随意切换
可选配法拉第桶
可选配温控系统
可选配压力控制系统
外形尺寸:775×749×781 mm
认证:
CE 认证
EN 61010
EN 61326
Semi E95
ISO 9001
- 产品优势
- 2.45GHz微波等离子体源,等离子体密度大,损伤小,可以去除SU-8、离子注入、碳化的光刻胶!
- NexION 350 Series电感耦合等离子体质谱仪/ICP-MS
- 珀金埃尔默NexION® 1000G 电感耦合等离子体质谱仪
- NexION 1000电感耦合等离子体质谱仪ICP-MS
- 珀金埃尔默NexION电感耦合等离子体质谱仪/ICP-MS
- 赛默飞iCAP™ 7400 ICP-OES 等离子体光谱仪
- 赛默飞iCAP RQ 电感耦合等离子体质谱仪
- 赛默飞iCAP TQ电感耦合等离子体质谱仪
- 赛默飞iCAP™ 7200 ICP-OES 等离子体光谱仪
- Agilent 7800 电感耦合等离子体质谱仪
- Agilent 7900 电感耦合等离子体质谱仪
- Agilent 4200 微波等离子体原子发射光谱仪
- Agilent 7900 电感耦合等离子体质谱仪