用途
详细介绍
大功率电子枪/电源EBG-300UA,JEGB-1000UB,JEBG-3000UB:
JEBG系列大功率电子枪是在真空中蒸发或熔解金属及氧化物的大功率电子束发生源,能在不断输送中的宽幅塑料和大面积玻璃基板上高速率地连续镀膜,此外在电子束熔炼时,可用于高熔点金属锭的生产及提纯。
产品规格:
型号 | EBG-300UA | JEBG-1000UB | JEBG-3000UB |
最 大输出功率 | 30kW (20kV, 1.5A) | 100kW (30kV, 3.4A) | 300kW (40kV, 7.5A) |
最 大偏转角 | ±30° | ||
扫描范围 | X, Y 轴 | ||
最 大扫描频率 | 300Hz | 200Hz | 200Hz (300Hz: 选配) |
适用电源 | ST-30BE2 | JST-100C | JST-300CHR |
产品特点:
· JEBG系列大功率电子枪是在真空中蒸发或熔解金属及氧化物的大功率电子束发生源,能在不断输送中的宽幅塑料和大面积玻璃基板上高速率地连续镀膜,此外在电子束熔炼时,可用于高熔点金属锭的生产及提纯。
· 电子束能大范围地快速扫描,通过专用の控制装置和软件,能生成各种电子束照射图形和区域。由于能够在各个照射位置上设定扫描、停留时间、输出功率及电子束形状,因而能够控制熔融面和膜厚分布。
· 真空蒸镀
· 阻隔膜、保护膜、电极膜、导电膜、磁性膜等薄膜的形成。
· 真空熔解
· 生产和提炼Ti、Ta、Nb、 Mo等高熔点金属锭。
· 提炼太阳能电池多晶硅
产品优势
日本JEOL 大功率电子枪/电源EBG-300UA,JEGB-1000UB,JEBG-3000UB,是在真空中蒸发或熔解金属及氧化物的大功率电子束发生源,能在不断输送中的宽幅塑料和大面积玻璃基板上高速率地连续镀膜,此外在电子束熔炼时,可用于高熔点金属锭的生产及提纯。
- 产品分类
- 品牌分类
- 光刻机/3D打印机/电子束直写仪
- 镀膜沉积系统
- 离子刻蚀与沉积系统
- 匀胶涂覆系统
- 半导体辅助工艺/光刻胶
- 半导体微纳检测仪
- 实验检测仪器
- 太阳能检测仪
- 紫外线UV光清洗/等离子清洗
- 晶圆贴片/贴膜/UV解胶机/晶圆清洗机
- (日本)日本SEN
- (美国)美国海马
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- (美国)美国Jelight
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- (美国)美国Nano-Master
- (美国)美国novascan
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仪企号深圳市蓝星宇电子科技有限公司
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