详细介绍
德国KSI-凯斯安i-Wafer型
全自动晶圆超声波缺陷检测系统
i-Wafer系列是一款高端仪器，操作人员可选择接收/拒绝标准，手动或自动检测晶圆。在KSI i-Wafer的探测下，晶圆中的孔隙、分层或者杂质都能被发现。尺寸在450mm的多种晶圆也能进行检测
新型KSI i-Wafer晶圆缺陷检测系统的主要特点：
- 扫描速度最高达2000mm/s
- 新型换能器
- 高质画面
- 同时使用1只、2只、4只换能器提高效能
- 能发现只有几微米的缺陷
产品优势
德国KSI-凯斯安 i-Wafer型全自动晶圆超声波缺陷检测系统，i-Wafer系列是一款高端仪器，操作人员可选择接收/拒绝标准，手动或自动检测晶圆。在KSI i-Wafer的探测下，晶圆中的孔隙、分层或者杂质都能被发现。尺寸在450mm的多种晶圆也能进行检测
- 产品分类
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- 镀膜沉积系统
- 离子刻蚀与沉积系统
- 匀胶涂覆系统
- 半导体辅助工艺/光刻胶
- 半导体微纳检测仪
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- 晶圆贴片/贴膜/UV解胶机/晶圆清洗机
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