高分辨率表层缺陷超声波扫描显微镜系统 核心参数
| 仪器分类: | 数字式 |
详细介绍
KSI－Nano型高分辨率表层缺陷超声波扫描显微镜系统
声学显微成像系统和光学显微成像系统的wan美结合
KSI Nano型超声波扫描显微镜是拥有高分辨率的声学显微成像系统，它能对实测器件的表层缺陷作超高分辨缺陷检测。
在使用100MHz——2000MHz的超高频超声波时，这种分辨率得以实现。
KSI nano 还包含一个倒置光学显微镜，在进行超声波检测前可利用它调整样品的位置。
KSI nano超声波扫描显微镜系统还应用于世界各地的生命和物质科学研究。
- 换能器频率范围：100MHz——2000MHz频率实现高分辨率
- 探测深度<100nm
- 特殊平均模式使信噪比更好
- 同步光学成像和超声波成像使样品在结构上、生物化学性能上和机械性能上具有关联性。
- 光声效应增强了对比性
- 最大放大倍数：1000倍
- 入射光显微镜和倒置光学显微镜可调节
产品优势
KSI－Nano型高分辨率表层缺陷超声波扫描显微镜系统，声学显微成像系统和光学显微成像系统的wan美结合
- 产品分类
- 品牌分类
- 光刻机/3D打印机/电子束直写仪
- 镀膜沉积系统
- 离子刻蚀与沉积系统
- 匀胶涂覆系统
- 半导体辅助工艺/光刻胶
- 半导体微纳检测仪
- 实验检测仪器
- 太阳能检测仪
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- 晶圆贴片/贴膜/UV解胶机/晶圆清洗机
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