-
金牌会员 第 6 年
深圳市蓝星宇电子科技有限公司
认证:工商信息已核实
- 产品分类
- 品牌分类
- 光刻机/3D打印机/电子束直写仪
- 镀膜沉积系统
- 离子刻蚀与沉积系统
- 匀胶涂覆系统
- 半导体辅助工艺/光刻胶
- 半导体微纳检测仪
- 实验检测仪器
- 太阳能检测仪
- 紫外线UV光清洗/等离子清洗
- 晶圆贴片/贴膜/UV解胶机/晶圆清洗机
- ( 德国)德国YXLON
- ( 土耳其)土耳其ADLEMA
- ( 英国)英国Quorum
- ( 深圳)杰普特
- ( 美国)美国阿兹特克
- ( 美国)湖岸LakeShore
- ( 德国)德国UniTemp
- ( 德国)德国MBE-Komponenten
- ( 日本)日本理音
- ( 德国)德国Finetech
- ( 法国)法国Annealsys
- ( 苏州)苏州纳维科技
- ( 日本)日本 Ulvac
- ( 奥地利)奥地利EVG
- ( 日本)日本基恩士
- ( 德国)徕卡生物系统
- ( 日本)日本伊领科思
- ( 瑞典)瑞典Obducat
- ( 丹麦)丹麦NIL TECHNOLOGY
- ( 香港)托普斯
- ( 日本)富士
- ( 日本)日本理学
- ( 美国)美国FEI
- ( 英国)英国MML
- ( 深圳)深圳一正
- ( 英国)英国EMS
- ( 美国)美国AZ technology
- ( 德国)德国Allresist
- ( 成都)中科院
- ( 美国)美国Neocera
- ( 美国)美国Sinton Instruments
- ( 美国)美国海马
- ( 美国)美国SCIEX
- ( 日本)日立
- ( 英国)NanoMagnetics
- ( 东莞)庆达VIPUV
- ( 瑞典)瑞典NanOsc
- ( 法国)法国Alyxan
- ( 美国)美国Montana Instruments
- ( 美国)美国Thorlabs
- ( 美国)美国OGP
- ( 德国)德国YXLON
- ( 美国)美国德龙
- ( 英国)英国牛津真空
- ( 美国)美国D&S
- ( 日本)日本Tohuko
- ( 荷兰)荷兰TSST
- ( 德国)德国Nanoscribe
- ( 德国)凯斯安KSI
- ( 英国)英国牛津
- ( 德国)德国ParcanNano
- ( 美国)美国Harrick
- ( 西班牙)西班牙Mecwins
- ( 韩国)韩国ATI
- ( 美国)美国SCS
- ( 美国)美国泰德派勒
- ( 美国)美国Sonoplot
- ( 美国)美国PI
- ( 德国)德国PVA TePla
- ( 美国)美国VTI
- ( 美国)美国Newport
- ( 德国)德国Optosol
- ( 美国)美国Uvitron
- ( 德国)德国Diener
- ( 比利时)比利时宝镭泽
- ( 美国)美国UVOCS
- ( 美国)美国novascan
- ( 美国)美国Jelight
- ( 日本)日本SEN
- ( 德国)德国克吕士
- ( 美国)美国Associated Research
- ( 德国)德国耐驰
- ( 德国)德国Attocube Systems
- ( 德国)德国neaspec
- ( 苏州)苏州纽迈
- ( 美国)美国Anasazi
- ( 美国)美国Filmetrics
- ( 美国)美国Royce
- ( 美国)美国SONIX
- ( 美国)美国Nanovea
- ( 美国)美国RTI
- ( 美国)美国KLA
- ( 日本)日本AND
- ( 德国)德国Klocke Nanotechnik
- ( 新竹)台湾智果整合
- ( 韩国)韩国ECOPIA
- ( 美国)美国MMR
- ( 瑞士)瑞士nanosurf
- ( 美国)美国泰克
- ( 美国)赛默飞世尔
- ( 德国)德国布鲁克
- ( 日本)日本RIBM
- ( 美国)美国Quantum Design
- ( 日本)日本Advance Riko
- ( 英国)英国AML
- ( 美国)美国RKD
- ( 美国)美国Nisene
- ( 德国)德国FS Bondtec
- ( 美国)美国MicroChem
- ( 美国)美国劳瑞尔
- ( 瑞士)瑞士Sawatec
- ( 台北)台湾正恩科技
- ( 美国)美国Trion
- ( 美国)美国Nano-Master
- ( 德国)德国iplas
- ( 美国)美国Denton Vacuum
- ( 英国)牛津仪器
- ( 法国)法国Plassys
- ( 英国)英国HHV
- ( 德国)德国Sentech
- ( 英国)英国NanoBeam
- ( 芬兰)芬兰Picosun
- ( 美国)美国nanoArch
- ( 美国)美国相干
- ( 美国)美国OAI
- ( 日本)日本尼康
- ( 日本)日本电子
- ( 瑞士)瑞士Swisslitho AG
- ( 瑞典)瑞典Mycronic
- ( 英国)英国Durham Magneto Optic
- ( 俄罗斯)俄罗斯Optosystem
- ( 德国)德国Eulitha
- ( 德国)德国Raith
- ( 德国)德国蔡司
- ( 德国)德国SUSS MicroTec
- ( 德国)德国纳糯
- ( 德国)德国海德堡
-
仪企号深圳市蓝星宇电子科技有限公司
-
友情链接
- 品牌:德国海德堡
- 型号:VPG+ 200,VPG+400
- 产地:欧洲 德国
- 供应商报价:面议
品牌: | 德国海德堡 | 型号: | VPG+ 200,VPG+400 |
海德堡Heidelberg 掩膜版光刻机VPG+ 200,VPG+400
大尺寸掩膜版生产工具
平行化曝光制程技术
大型光学系统上的创新与突破
的VPG(Volume Pattern Generator)系列-全球安装已超过50台。自成立以来,随着技术的进步,VPG产能不断得到进一步提升。整体的高速光学调制器有了飞跃性表现-升级后的系列称之为:VPG+。
VPG+系统同步提供小面积和大面积曝光的设备。VPG+200和VPG+400是海德堡设备中zuixianjin的中小型高速曝光系统,以大面积VPG平台所采用的运作原理,同步保留小面积光刻领域的高端技术。
速度更快:超高速曝光
VPG+系列具有海德堡所研发的高速光学调制器,在速度最大化下,曝光时间可以达到原始VPG的三倍!强化了曝光性能与数据传输路径。
功能和选项:配备性能
VPG+小面积系统采用波长355nm的高功率脉冲紫外激光光源。空气轴承平台能够分别容纳尺寸为200x200mm²或400x400mm²的基板。系统配备自动对准功能和集成计量系统。
应用:光罩制造和直接写入
VPG+ 200和VPG+ 400将高分辨率的图像结合优化速度,以达到最快光刻产能,成为光罩制作及其他直写应用的设备,特别是使用SU-8或IP 3600等i-line光刻胶的应用。该系统可用于各种要求微观结构的领域,典型应用包括MEMS、advanced packaging、3D integration、LED production、life science和compound semiconductors。
基板尺寸的400 x 400毫米²
降至0.75µm结构
地址网格减小到12.5 nm
多写模式
自动加载系统
多种数据输入格式(DXF, CIF, GDSII, Gerber, STL)
网络数据传输
计量校准系统
人工气候室
阶段地图校正
边缘检测器单元
色差校正