数字全息显微镜
Park Systems展示的数字全息显微镜 DHM R&T系列，能够实现高速、非接触式三维形貌与动态过程测量。
系统通过数字全息技术实现对样品形貌、振动、形变以及微纳结构动态行为的高精度测量，适用于 MEMS、微结构器件、生物样品以及材料科学研究等领域。
主要特点
实时3D形貌测量
高速动态成像
纳米级高度分辨率
非接触测量方式
MEMS振动模式分析
在MEMS器件、CMUT阵列、SAW器件等应用中，DHM能够对微结构振动模式及动态行为进行高精度分析。
纳米红外光谱系统
Park FX300 IR / FX200 IR 纳米红外光谱系统将原子力显微镜与红外光谱技术结合，实现纳米尺度的化学成分分析。
该系统通过光热检测原理（Photo-induced Force Microscopy), 突破传统红外光谱的空间分辨率限制，实现 纳米级红外化学成像与材料分析。
核心优势
纳米级化学成像
高分辨率材料成分分析
同时获得形貌与光谱信息
支持复杂材料界面分析
适用于：
高分子材料
半导体材料
电池材料
生物样品
纳米复合材料
椭偏成像显微镜解决方案
Park Systems 还将展示椭偏成像显微镜及椭偏仪系列产品，用于材料表面 薄膜厚度、光学常数及结构特性分析。
该系列产品结合高精度光学测量与先进算法，可实现：
薄膜厚度测量
光学常数分析
大面积成像检测
高通量材料表征
广泛应用于：
半导体薄膜检测
光学涂层分析
显示材料研究
新能源材料开发
www.parksystems.cn
销售热线: 400-878-6829
售后热线: 021-6025-1578
Park北京分公司北京市海淀区彩和坊路8号天创科技大厦518室
Park上海实验室上海市闵行区丰虹路199号德必虹桥国际WE 5号楼118
Park广州实验室广州市天河区五山路200号天河北文创苑B座211
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