Tescan 邀您共赴 SEMICON China
我们还将同时亮相慕尼黑上海电子生产设备展，展位号 E4-4590。现场举行系列报告和免费冰激凌活动。
2026.3.25-27 上海
展台号：T4-4446
展台号：E4-4590
今年看点
我们在这里
今年看点和双展位地图，可查看第一轮通知：
● 邀请函 | Tescan 邀您共赴 SEMICON China 2026 | |
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本次第二轮通知，为您介绍现场活动（如下）。
现场报告
半导体失效分析
综合检测工作流程
之系列报告
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3月25日 ~ 3月26日 下午
同在上海新国际博览中心
E4馆，4590号展台
为了有更大的展示空间，我们将各种活动安排在同期的慕尼黑上海电子生产设备展展位上，展位号 E4-4590。3月25日至26日下午，我们将举办五场系列报告，重点介绍半导体失效分析综合检测工作流程中的产品升级与新激光飞秒方案，您可借此机会与我们的专家交流并探讨具体应用方案。展位提供免费冰淇淋，欢迎前来交流并领取精美赠品。
报告模式
我们将采用“轻讲座”模式。每场报告时长仅10分钟；由于展台座位有限，坐满后可站在座后方聆听，敬请理解。我们特意在每场之间预留10分钟，供您提问、记录或稍作休息。期待与您在现场碰撞思想！
日程安排
下午日程
3月25日
Day 1
14:00 | 报告1：《TESCAN micro-CT 在半导体多尺度3D与原位4D分析中的应用》，演讲人：孟方礼 | |
14:10 | 提问与茶歇 | |
14:20 | 报告2：《FemtoChisel?：重新定义超快激光加工》，演讲人：Herve Mace 博士 | |
14:30 | 提问与茶歇 | |
14:40 | 报告3：《PFIB：新一代等离子体双束电镜，助力封装级失效分析》，演讲人：朱新利 博士 | |
14:50 | 提问，第一天活动结束 | |
下午日程
3月26日
Day 2
14:00 | 报告4：《第二代镓离子FIB镜筒让自动透射制样速度提升高达40%》，演讲人：朱新利 博士 | |
14:10 | 提问与茶歇 | |
14:20 | 报告5：《Tescan TENSOR: 一台自动化扫描透射电镜，通过成像、EDS 与 4D STEM 进行现代化失效分析》，演讲人：陆畅 博士 | |
14:30 | 提问，第二天活动结束 | |
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内容预告
半导体失效分析
综合检测工作流程
发现缺陷
Micro-CT 非破坏性缺陷检测
（Tescan UniTOM HR 2）见报告 1
大至12英寸晶圆无损缺陷检测
（Tescan 超大样品室）
暴露缺陷
大体积加工工作流程
（Tescan FemtoChisel 见报告 2 + Plasma FIB-SEM 2）
高质量实现半导体器件的去层
（Tescan Plasma FIB-SEM 2 见报告 3 ）
分析成分
大面积截面制备和高精度终点测量
（Tescan Plasma FIB-SEM 2）见报告 3
批量化、高质量TEM样品制备解决方案
（Tescan Ga+ FIB-SEM 2）见报告 4
整机定制多束FIB-SEM满足特殊需求
（Tescan Nanospace)
结合EDS等分析技术，揭示材料属性和缺陷的根本原因。
验证与关联
4D-STEM 或 TEM 提供高分率成像，完成最终验证并关联分析结果。
高度集成、旋进辅助的分析型4D-STEM
（Tescan TENSOR）见报告 5
说明：“2”表示2代产品，加粗表示新品发布。
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报告人简介
孟方礼
Tescan 中国 Micro-CT 业务发展经理
报告人介绍：
在X射线3D、原位动态4D分析方面及电子显微分析和表征有丰富的经验，负责 micro CT 产品线的市场开发与解决方案推广，涵盖材料科学、生命科学、半导体和新能源等行业。
Herve Mace 博士
Tescan 全球半导体
业务发展总监
报告人介绍：
电子学博士（毕业于格勒诺布尔 ENSICAEN）。1992年进入半导体行业，早期在飞利浦、通用电气等企业担任工艺工程师及工艺经理。后转入销售与业务发展领域，兼具深厚的技术背景与商业洞察。目前专注于推动半导体领域的业务增长与技术创新。
朱新利 博士
Tescan 中国 FIB-SEM 业务发展经理
报告人介绍：
Tescan FIB-SEM业务拓展经理，博士毕业于北京大学凝聚态物理学专业，从事基于电子显微镜的微纳米加工与纳米光电子学研究工作，以第一作者发表4篇一区文章。2016年加入赛默飞世尔科技(前FEI)，任电镜业务高级应用科学家，电镜业务产品专家，从事扫描电镜与双束电镜的应用支持及产品推广工作。2020年加入Tescan，目前从事聚焦离子束显微镜技术支持与业务拓展。
陆畅 博士
Tescan 亚太 TEM
业务发展经理
报告人介绍：
陆畅，北京航空航天大学本科，美国 Wake Forest University 博士。拥有多年电子显微镜和相关附件产品（如EDS、EBSD、CL、EELS、4D STEM等）的操作和使用经验。2025年加入Tescan中国团队，负责Tescan旋进辅助4D STEM透射电镜（TENSOR）的产品管理和业务拓展工作。扫码报名
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免费冰激凌
Tescan E4-4590 展台提供免费冰激凌，每天限量500份，报告前后也欢迎来展台坐坐聊聊哦。
获取方式：现场扫码，关注 Tescan 公众号 “Tescan公司”，即可获取。
冰激凌以现场实物效果为准。
Tescan 对活动有最终解释权。
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