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今天下午16:00开播!英伟达案例分享:电镜式原子力显微镜在半导体分析中的应用

来源:复纳科学仪器(上海)有限公司 更新时间:2026-03-19 09:30:31 阅读量:153
导读:会议时间:2026年3月19日 16:00\x0a参会方式:线上研讨会

Webinar



半导体是现代电子产品的基础,支撑着从计算到数据存储的一切功能。随着器件尺寸缩小且结构日益复杂,精准的失效分析变得至关重要。



AFM-in-SEM 失效分析


该技术直接集成于 FIB / SEM(聚焦离子束 / 扫描电镜)环境,能够在纳米尺度下对半导体元件进行原位、特定位置的电学与形貌表征。它提供精确的电导率映射和掺杂分布分析,同时保持样品完整性。


核心优势


  • 特定位置的失效分析: 利用 SEM 精确定位,结合高分辨率电导率与掺杂分布映射。.

  • 无缝真空工作流: 与现有失效分析工具完全兼容,避免表面氧化和污染。.

  • 探针保护与优化接触: 探针坞(Docking Station)在 FIB 铣削时保护 AFM 探针; 样品旋转功能优化接触角度,适应复杂几何结构。

  • 省时与成本效益: 集成化方案减少单样品测量时间,加速研发进程。


Webinar

会议详情


会议时间

2026 年 3 月 19 日(周四)16:00

参与方式

线上参会

报名方式

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这是一次深入了解半导体失效分析前沿技术的绝佳机会,期待您的参加。


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飞纳电镜——复纳科学仪器(上海)有限公司,2012 年创立于上海,为高校、企业和研究所提供台式扫描电子显微镜,产品线丰富:台式肖特基热场发射扫描电镜、CeB6 灯丝 XL 系列智能化台式扫描电镜、CeB6 灯丝 P系列高性价比台式扫描电镜,ParticleX 系列全自动颗粒和异物检测扫描电镜,DiatomAI 全自动硅藻检测系统(电镜法),以及扫描电镜样品制备设备——离子研磨仪等。


飞纳电镜还提供与台式扫描电镜相关的技术支持和测试服务,在上海、北京、广州、成都设立了测试中心和售后服务中心,目前飞纳电镜在中国已经拥有超过 2500 名用户。


复纳科学仪器(上海)有限公司

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