Webinar 答疑汇总&直播回放 【英伟达案例分享：电镜式原子力显微镜在半导体分析中的应用】

可以。标准流程是在 FIB/SEM 或 pFIB/SEM 系统中安装 LiteScope 后，将探针固定在对接位置（此时样品处于最高点）。随后执行 FIB 或 pFIB 加工操作，完成后再将探针移动至样品表面，定位至目标区域并进行 AFM 分析。该流程可重复多次。

是的。当 LiteScope 集成在 SEM 中时，腔体处于高真空状态，所有测量均在高真空环境下完成。此外，LiteScope 也支持在SEM 外的常压环境下独立使用。

AFM 分辨率取决于测量区域以及探针针尖几何形貌。系统压电扫描器在 Z 方向的极限分辨率为 0.04 nm。在平坦、开放表面上可以达到该最佳分辨率。若目标区域位于沟谷结构或表面较粗糙，则分辨率会降低。

AFM 的横向分辨率同样取决于测量区域及探针针尖形貌。系统压电扫描器在 X/Y 方向的极限分辨率为 0.2 nm。在理想条件下可达到最佳分辨率，但表面结构复杂时会降低。

每个探针在首次使用前需进行自动调谐（约 1 分钟），确保测量准确。如有需要，可提供标准样品用于性能验证。

样品台支持 X、Y、Z 三轴运动，用于精确扫描；大范围导航通过移动探针支架实现。

可以生成表面高度分布图。最大扫描范围：闭环 80×80 μm，开环 100×100 μm。

不支持接触状态下电势测量。KPFM 和 EFM 采用非接触模式。

平均约 10 分钟，具体为 5 分钟至 1 小时，取决于扫描参数和样品表面情况。

是否镀膜主要取决于用户对 SEM 拍摄效果的要求。

目前，样品需要经过切割处理后，制备在 SEM 样品台上进行检测。整片晶圆及在线检测方案仍在研发中。

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