2026年,半导体产业国产替代进入关键阶段,检测设备需求持续释放。在高速与高分辨率等基础能力之外,行业对成像系统的要求正加速升级,“高精度、高灵敏度、系统级适配”正成为先进制程演进的核心方向。
2026年3月25日,作为中国最早进入半导体产业的相机厂商,鑫图以“科学成像解决方案”为主题,在VisionChina展会现场,全方位展示了其在成熟制程商用化、先进制程攻坚中的核心技术成果与行业实践优势。
图1:鑫图光电以“科学成像解决方案”主题亮相
标准化TDI相机产品线
成熟制程商用化的先锋力量
当下,28~14nm半导体制程检测设备已基本实现自主可控,正处于工艺量产、设备与材料快速导入、产能与良率爬坡、国产替代全面铺开的关键阶段。鑫图正是这一历程的深度参与者。
图2:鑫图TDI线阵相机产品矩阵
鑫图是国内最早(2020年)推出高速高灵敏度TDI相机、首家为半导体牵头企业提供相机技术服务的厂商。经过6年3代技术迭代,已形成国内最全的8K/9K/16K TDI相机标准产品线,凭借高可靠TEC制冷+灵活的散热结构设计、高速稳定的高速接口技术,可快速导入半导体设备标准产线,满足成熟制程批量检测的高效需求。
图3:鑫图Gemini 16KTDI荣获本届机器视觉创新产品TOP10
科学弱光成像技术
先进制程攻坚的核心支撑
半导体纳米级先进制程的缺陷检测,已超越传统机器视觉“寻找明显瑕疵”的范畴,演变为在复杂背景中捕捉微弱缺陷信号、在多层结构间定位微小异常的技术极限挑战,必须依赖科学级弱光成像这一核心技术。
图4:鑫图极限灵敏度产品线亮相Vision China
鑫图依托超低读出噪声信号链路设计、稳定可靠的制冷工艺,结合先进图像处理算法与软件定量分析工具,构建起一套覆盖多类噪声源的系统级弱光成像优化方案——能够为科学定量研究与工业高速批量检测,提供从“拍得清”到“测得准”的全链路高可靠性保障。
系统级成像解决能力
为“看不见的问题”提供破局路径
随着先进制程向微观化、复杂化发展,单一机器视觉技术已难以实现极限突破,多模态技术融合已成为国产半导体先进制程的必然方向。这一趋势虽构筑了高产业门槛,也为基础科研成果产业化带来重大机遇。
图5:鑫图多模态应用解决方案现场吸引众多观众关注
“在这一领域,鑫图具备长期积累形成的科学成像系统性技术优势。历经二十年技术攻关与人才积累,公司不仅具备对前沿技术发展的持续跟踪能力,还构建了涵盖物理、光学、算法等方向的跨学科人才体系,能够基于基础学科方法解决复杂成像问题,为客户提供从光谱匹配到光路优化,从低噪声光电信号链路设计到高速数据稳定传输保障的全流程技术支撑。”
——鑫图半导体业务总监,林静
深耕 20 载,赋能“芯”突破
在半导体先进制程的征途上,鑫图二十年科学成像技术与产业积淀,已凝练为一份沉甸甸的底气——技术领先、积淀深厚、生态完备。未来,我们将始终以成就客户为原点,与产业伙伴并肩同行,共建自主可控的半导体国产生态体系,共赴半导体人心中那份不灭的使命与荣光。
本届VisionChina展会,鑫图针对成熟制程与先进制程攻坚,推出了全链路成像解决方案。诚邀科研用户与设备厂商莅临鑫图展位(W4?4543)现场洽谈交流,共探半导体先进制程设备国产突围全链路解决方案。
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