新品发布 | 可对大型重型样品进行纳米级观察的高分辨率场发射扫描电镜

“日立高新技术” 发布高分辨率肖特基场发射扫描电镜“SU3900SE”、“SU3800SE”系列 (以下简称“本系列”) ，该系列可对大型重型样品进行纳米级高精度和高效观察。 

本系列最大可观察样品重量达到 5 kg。此外，通过搭载日立高新技术 SEM*1系列中最大级别的马达台，可以对直径 300 mm、高度 130 mm 的大型样品进行观察，从而减少切割样品等加工工序，实现高效的观察工作。并且，新产品在可以进行大型重型样品观察的同时，还兼具马达台 5 轴(左右、前后、上下、倾斜、旋转) 移动。此外，通过搭载相机导航功能，可以将一系列单独拍摄的图像拼接在一起从而观察样品全貌，支持观察大型样品时的视野搜索*2，有助于提高操作性。

*1SEM (Scanning Electron Microscope)

   扫描电子显微镜

*2视野搜索：在测量开始时确定当前测量位置

SEM作为观察物质表面细微结构的装置，被广泛应用于纳米技术及生物技术等所有工业领域的研究开发、制造以及品质管理。尤其是高分辨率肖特基场发射扫描电镜 (FE-SEM) 可在更高倍率进行观察，在微粒观察、微小异物观察以及元素分析方面的需求不断增加。

观察钢铁等工业材料及汽车相关零件等大型重型样品时，SEM马达台可搭载的样品尺寸和重量都有限制，在观察前需要进行切割等样品处理，从而增加了观察工作的负担。另外近年来，SEM更多的应用在控制微观结构以提高各种材料的功能和性能，以及分析异物和缺陷以改良产品品质。因此，还需要通过进一步提高可操作性来减轻用户的负担，例如提高获取大量数据的效率，以及简化大范围观察时的视野搜索等。

通过对大型重型样品观察的马达台，日立高新技术的大型SEM实现了对直径300 mm、高130 mm、重量5 kg样品的观察。此外，产品既可搭载大型重型样品又具备5轴移动的功能。

使用光学相机导航系统可覆盖整个马达台的移动范围，轻松确定样品位置。此外，光学相机图像也可以随马达台而旋转，从而轻松移动样品位置，并在 SEM 图像中顺利观察到样品位置。

配备可选功能“EM Flow Creator”，可视需要组合倍率和马达台位置等条件设置、焦距及对比度等调整功能，创建一系列观察菜单。通过执行创建的菜单，可进行自动观察，有助于减轻用户的操作负担，并在连续图像采集过程中节省人力。

计划于 2024 年 7 月 28 日 (周日) 至 8 月 1 日 (周四) 在美国 (克利夫兰) 举办的“Microscopy & Microanalysis”展，以及于 9 月 4 日 (周三) 至 9 月 6 日 (周五)在幕张 Messe 国际展览中心 (千叶县) 举办的“JASIS2024”展，对本系列实机进行展示。

今后，日立高新技术将继续完善其“解析、分析”的核心技术，致力于打造解决客户问题的解决方案平台和专用设备，为解决环境问题、强韧、安全和安心等社会问题和客户课题做出贡献。