HORIBA 真空紫外椭偏仪 UVISEL 2 VUV
HORIBA Auto SE 椭圆偏振光谱仪
偏振光谱仪-HORIBA椭圆偏振光谱仪UVISEL Plus
HORIBA Smart SE 椭圆偏振光谱仪
HORIBA UVISEL Plus 椭圆偏振光谱仪
HORIBA 椭圆偏振光谱仪
产品介绍：
专为VUV 测量设计，整个系统处于真空状态，无氧气吸收。具备高度准确性的超快测量速度；快速样品室抽真空能力，方便快速更换样品；氮气消耗量少。
产品特点
50KHz 高频PEM 相位调制技术
45 秒内完成充氮气
2 分钟内完成样品室抽真空
8 分钟内完成光谱全谱范围内测量
两种工作模式：氮气清洗结合抽
真空、连续氮气清洗
光谱范围：147nm~850nm；147nm~2100nm
zhong点应用领域
超薄膜
157nm 光刻新材料
有机材料、高分子材料
高k 材料：HfO2、Al2O3、TiO2、HfxAlyOz
抗反射涂层
半导体和介电材料电子跃迁
MgF2、CaF2、LaF3
报价：面议
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深圳浦东雄安YOLO椭偏仪价格本公司尧零智能仪器根据教学大纲要求自主研发的固定波长激光椭圆偏振仪用于大学近代物理实验，仪器集光、机、电于一体，操作简单，性能稳定，可无接触、无损伤精确测定超薄薄膜厚度。
high speed film thickness system measures routinely in less than a second! Tilt-free, focus free, hands-off operation for similar wafers. Fastest possible instrument for thin film measurement.
营业执照已审核
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