半导体膜厚测试仪

一、产品简介

反射膜厚仪是一款精-准又好用的薄膜厚度测量设备。它能测低至20纳米的超薄薄膜，测量误差小于1纳米，最快每秒可测100次，重复测量精度高达0.05纳米。它采用双光源组合，覆盖紫外到红外全光谱，抗干扰能力强，在振动或复杂环境下也能稳定工作。

二、应用领域

广泛应用于半导体与微电子制造、显示面板、光学器件制造、生物医学、汽车及新材料与新能源研发等领域，能满足从晶圆镀膜、显示面板薄膜到光学元件镀膜、医用植入物涂层、汽车玻璃膜层及新能源薄膜的高精度厚度检测需求，助力各行业提升产品质量与研发效率。

三、测试原理

反射膜厚仪基于白光干涉原理工作，光源发出的宽带光入射至待测薄膜表面后，经薄膜上下表面反射形成的两束反射光会因光程差产生干涉，干涉信号中包含薄膜厚度、光学常数等关键信息，设备通过探头采集干涉后的反射光谱，对特定波段范围内的光谱进行模型拟合后，即可反演解析出薄膜的厚度、光学常数及粗糙度等参数，整个系统由高强度组合光源提供宽光谱入射光，经光学系统传输至样品，反射光返回后由高速光谱模块采集信号，最-终通过上位机软件完成数据处理与结果输出。 四、产品特点

1. 精-准测量：支持20nm超薄膜厚检测，准确度±1nm、重复精度0.05nm，满足精密检测需求；

2. 高速采样：最-高采样速度100Hz，适配产线快速检测，提升测量效率；

3. 宽光谱覆盖：采用氘卤组合光源，光谱覆盖紫外至近红外，可解析单层/多层膜厚；

4. 强抗干扰性：高灵敏度元器件搭配抗干扰光学系统+多参数反演算法，复杂环境下测量稳定；

5. 灵活易适配：支持自定义膜结构测量，设备小巧易安装，配套软件及二次开发包，适配实验室/产线多场景。