
CSI原子力显微镜的详细介绍
多种工作模式
接触模式
轻敲模式
CAFM(导电AFM)
PFM(压电力)
MFM/EFM(磁力/静电力)
FMM(力调制)
HD-KFM(开尔文力)
ResiScope(扩散电阻)
STM
**的电特性测量模块
HD-KFM :
市场上最高的分辨率和灵敏度
更好的算法,更好的锁相灵敏度
易用使用,自动调用智能算法
ResiScope :
10个数量级测量范围从100Ω~1TΩ之间(竞争者最多只覆盖了7个数量级)
较低的电流流经探针/样品(不会局部氧化,不会因为高电流损害探针/样品)
同时兼容AC模式成像和EFM/MFM模式或者HD-KFM模式,不用做任何变动而丢失样品的位置!
Soft-ResiScope :
仍然有10个数量级的测量范围,更适合软性样品成像和电阻/电流测量。
适用于多种环境的测量
温度控制:
最高可达200°
对于压电器件可以进行更稳定的加热分离(不漂移)
与大气控制、液体模式和所有电测量模式(KFM,CAFM, ResiScope…)相兼容
大气控制(气体和湿度):
湿度控制不会损害光电探测器和激光器
光电探测器和激光器可以正常调节对齐
容易和快速设置
与所有电测量模式(KFM,CAFM, ResiScope…)相兼容
液体测量:
压电保护
激光容易对准(可以利用顶部CCD在空气中对准激光)
非常稳定的轻敲模式的使用
高品质的测量
平移式压电扫描器:
三轴独立
低噪音,具有原子级分辨率
最大100μm扫描,Z方向9μm
智能化AFM
低噪声低功耗相干激光器
低噪音控制器(低电压驱动压电扫描器)
24位DAC控制
大范围扫描,高分辨率,且无需更换扫描器。
易于使用
自动调谐集成锁相
自动设置的电子系统
顶部和侧面CCD视图
直观的软件和预先配置的AFM模式
主要的参数指标
1、XY扫描分辨率:0.06nm
2、Z扫描分辨率:0.006nm
3、扫描范围:XY向100um,Z向9um
4、超低噪音高压:典型值:<0.01 mV RMS
5、数据采样点:高达4096
6、DAC输出:6个D/A转换器-24位
7、ADC输入:8个A/D转换器-16位
8、集成锁相:高达6MHz
9、控制器电源:AC 100~240 V,47~63 Hz
10、计算机接口:USB2.0/3.0
11、运行环境:运行于Windows XP/7/8/10操作系统
CSI原子力显微镜应用领域
金属,纳米材料,高分子聚合物,薄膜&涂层,DNA,蛋白质,半导体,光电材料,
太阳能电池,蓄电池,电化学领域,磁性材料,压电领域,分子电子或组织,导电材料表面表征…
CSI原子力显微镜应用实例


C36分子 扫描范围250nm DNA 扫描范围1μm

高分子聚合物(PDES) 扫描范围12μm

石墨烯扫描范围10μm

磁性三角形结构扫描范围4.5μm
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已咨询367次SPM/AFM 扫描探针原子力显
Park NX-Hivac通过为失效分析工程师提供高真空环境来提高测量敏感度以及原子力显微镜测量的可重复性。与一般环境或干燥N2条件相比,高真空测量具有准确度好、可重复性好及针尖和样本损伤低等优点。
高精度探针针尖变量的亚埃米级表面粗糙度测量,晶圆的表面粗糙度对于确定半导体器件的性能是至关重要的,对于先进的元件制造商,芯片制造商和晶圆供应商都要求对晶圆商超平坦表面进行更精确的粗糙度控制。
对于工程师来说,识别介质/平面基底的纳米级缺陷的任务是一个非常耗时的过程,Park NX-HDM原子力显微镜系统可以自动缺陷识别,通过与各种光学仪器的联用可以提高缺陷检测效率。
Park Systems推出NX-3DM全自动原子力显微镜系统,专为垂悬轮廓、高分辨率侧壁成像和临界角的测量而设计。
CSI是一家法国科学设备制造商,拥有专业的AFM设计概念,以及为现有的AFM提供设计选项。它避免了激光对准需要预先定位针尖的系统,针尖/样品的顶部和侧视图,结合垂直的马达控制系统,使预先趋近更加容易。
EM-AFM可在SEM中同时提供原子力显微镜成像和纳米机械测量。它综合了这两种技术的优点,可高速获得高分辨率的三维图像,并且在微纳米和亚纳米尺度上实时观察纳米级力的相互作用,与常规SEM/FIB兼容,