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光学NanoGauge C10323-02
- 品牌:日本滨松
- 型号: C10323-02
- 产地:日本
- 供应商报价: 面议
- 滨松光子学商贸(中国)有限公司 更新时间:2024-02-04 13:42:48
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企业性质生产商
入驻年限第9年
营业执照已审核
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联系方式:滨松客服400-074-6866
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- 详细介绍
- 详细参数
型号 C10323-02 可测膜厚范围(玻璃) 20 nm to 50 μm① 测量可重复性(玻璃) 0.02 nm② 测量准确性(玻璃) ±0.4 %③ 光源 Halogen light source 光斑尺寸 φ8 μm to φ80 μm④ 工作距离 Refer to objective lens list 可测层数 Max. 10 layers 分析 FFT analysis, Fitting analysis, Optical constant analysis 外部控制功能 RS-232C, PIPE, Ethernet 电源 AC100 V to AC120 V , 50 Hz/60 Hz 功耗 Approx. 250 VA 测量波长范围 400 nm to 1100 nm 接口 USB 2.0
*1:转换时玻璃的折射率是1.5
*2:测量400 nm玻璃薄膜厚度时为标准偏差(公差)
*3:取决于光学系统或物镜放大倍数
*4:测量保证范围同VLSI标准测量保证文件一致产品特性● 可在微观层面进行测量
● 高速、高准确度
● 分析光学常量(n, k)
● 可外部控制
外形尺寸(单位:mm) - 产品优势
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C10323型光学纳米膜厚测量系统是一款微观厚度测量系统。 在宏观层面上无法测量具有不规则表面的物体,因为这些物体会产生高强度的散射光。 对于这些类型的物体,测量小面积可减少散射光,从而实现测量。
C10323-02的电源电压为AC100 V至AC120 V。
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