C10323型光学纳米膜厚测量系统是一款微观厚度测量系统。 在宏观层面上无法测量具有不规则表面的物体，因为这些物体会产生高强度的散射光。 对于这些类型的物体，测量小面积可减少散射光，从而实现测量。
C10323-02E的电源电压为AC100 V至AC120 V。
| 型号 | C10323-02E |
| 可测膜厚范围（玻璃） | 20 nm to 50 μm① |
| 测量可重复性（玻璃） | 0.02 nm② |
| 测量准确性（玻璃） | ±0.4 %③ |
| 光源 | Halogen light source |
| 光斑尺寸 | φ8 μm to φ80 μm④ |
| 工作距离 | Refer to objective lens list |
| 可测层数 | Max. 10 layers |
| 分析 | FFT analysis, Fitting analysis, Optical constant analysis |
| 外部控制功能 | RS-232C, PIPE, Ethernet |
| 电源 | AC200 V to AC240 V , 50 Hz/60 Hz |
| 功耗 | Approx. 250 VA |
| 测量波长范围 | 400 nm to 1100 nm |
| 接口 | USB 2.0 |
*1：转换时玻璃的折射率是1.5
*2：测量400 nm玻璃薄膜厚度时为标准偏差（公差）
*3：取决于光学系统或物镜放大倍数
*4：测量保证范围同VLSI标准测量保证文件一致
● 可在微观层面进行测量
● 高速、高准确度
● 分析光学常量(n, k)
● 可外部控制
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X15213-03CR 是一款仅有反射相的空间光调制器 (SLM)，基于硅上液晶 (LCOS) 技术，可通过 CMOS 芯片的寻址电压直接控制液晶 (LC) 分子，并且可以高精度、高速调制光束的波前。
X15213-03CL 是一款仅有反射相的空间光调制器 (SLM)，基于硅基液晶 (LCOS) 技术，可通过 CMOS 芯片的寻址电压直接控制液晶 (LC) 分子，并且可以高精度、高速调制光束的波前。
LCOS 芯片中的失真（如 LC 的波前失真和非线性响应）可通过控制器进行高效校正。使用 X15213 系列可实现简便的 PC 控制、精确的线性相位调制特性。它们还可以提供高衍射效率和高光利用率。
LCOS 芯片中的失真（如 LC 的波前失真和非线性响应）可通过控制器进行高效校正。使用 X15213 系列可实现简便的 PC 控制、精确的线性相位调制特性。它们还可以提供高衍射效率和高光利用率。
X15213 系列设备是一种反射型纯相位空间光调制器 (SLM)，基于硅基液晶 (LCOS) 技术，其中液晶 (LC) 直接由电压进行准确控制，并且可以调制光束的波前。
X15213 系列设备是一种反射型纯相位空间光调制器 (SLM)，基于硅基液晶 (LCOS) 技术，其中液晶 (LC) 直接由电压进行准确控制，并且可以调制光束的波前。
X15213 系列设备是一种反射型纯相位空间光调制器 (SLM)，基于硅基液晶 (LCOS) 技术，其中液晶 (LC) 直接由电压进行准确控制，并且可以调制光束的波前。
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