| 项目 | 描述 | |
| 分辨率 | 二次电子分辨率 |
30kV时,3.0nm(高真空模式) 3kV时,10nm(高真空模式) |
| 背散射电子分辨率 | 30kV时,340nm(低真空模式) | |
| 放大倍率 | ×5-×300,000 | |
| 加速电压 | 0.3-30KV | |
| 低真空范围 | 6-270pa图形菜单 | |
| 图像移动 | ±50μm(WD=10mm) | |
| 最大样品尺寸 | Ф300mm | |
| 样品台 | X | 150mm |
| Y | 110mm | |
| Z | 5-65mm | |
| R | 360° | |
| T | -20°-90° | |
| 观测区域 | Ф203mm(可旋转) | |
| 最大高度 | 110mm(WD=10mm) | |
| 样品台控制 | 计算机控制5轴马达驱动优中心 | |
| 电子光学 | 电子枪 | 预对中钨灯丝 |
| 物镜光阑 | 可移动式4孔物镜光阑 | |
| 枪偏压 | 带可控4偏压 | |
| 检测器 |
埃弗哈特 索恩利二次电子检测器 高灵敏度半导体背散射电子探测器,五分割 |
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| 分析位置 | WD=10mm 取出角=35° | |
| 显示器 | 自动合轴 | 自动设定束流,自动合轴 |
| 自动图像调整 | 自动聚焦,自动消像散/聚焦,自动调整亮度和对比度 | |
| 存储图像精度 | 640×480像素,1280×960像素,2560×1920像素,5120×3840像素 | |
| 图像文件格式 | BMP,TIFF,JPEG | |
| 图像显示模式 |
全屏显示1280×960像素,小屏显示640×480像素, 双屏显示640×480像素×2,信号混合模式 |
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| 真空系统 | 操作 | 全自动程序 |
| 涡轮分子泵 | 210L/sec.×1 | |
| 机械泵 | 135L/min.(162L/min.60Hz)×1 | |
| 安全措施 | 断电保护,漏电保护 | |
| 辅助功能 | 光栅旋转,动态消像散 | |
| 动态聚焦/倾斜补偿功能 | ||
| 自由排版打印功能,字母/数字功能 | ||
| 三维动画维修指南 | ||
| 导航,测量方便,倾斜画面 | ||
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涡轮分子泵组MLT-PT90系列是米立特公司新型的组合式分子泵,能产生5×10-8mbar以上的真空度,同时具有使用简单可靠的特点,被各地的用户广泛使用。它的主要特点如下: • 前泵与分子泵合为一体,不需要再另接前泵。 • 前泵采用干式运行的隔膜泵,使整套设备免维护,干式运行,体积小,重量轻。 • 自动测量前泵产生的真空压力并自动启动分子泵,不需要附加装置和人为控制,前泵与分子泵的配合完全自动化。
MLT 4.8T干式压缩前级真空泵特点: •干式压缩,无油并且无烃 •可配用于MLT-PT90涡轮分子泵机组 •极限压强低 •进气口为ISO-KF法兰
MLT C系列油泵按zui高要求制造:MLT C系列是双级油封式旋片真空泵,与众不同的特点是结构轻巧,尤其适用于薄膜镀层、变压器油、环氧树脂等的除气、 空间模拟 、冷冻脱水 、蒸馏 、化学/制药;真空冷冻 、容器或舱室排气 、冶金/熔炉 、真空干燥 、鼓风机用备用泵、半导体生产 。关键部件如:旋片、整套密封件及防返油阀等均有德国进口。
MLT 1.4T和MLT 3.8T与传统膜片泵相比,其三级设计可在较低压强范围内提供较高抽速,同时极限压强低于2毫巴(1.5托),因此非常适合用作涡轮分子泵的前级真空泵。该泵结构紧凑,也适合安装在泵系统内。
MLT干式压缩前级真空泵,有T系列,以及三级设计的MLT 1.4 T和3.8 T。所有型号都确保了无油的前级真空。采用三级设计,可在较低压强范围内提供更高抽速,因此非常适合用作涡轮分子泵的前级真空泵。所有型号泵同样也适合在普通低中真空应用中抽送洁净介质。
MLT 1.4L是三级隔膜真空泵,它能抗耐化学品并升级了抽气性能。转速在700-1600rpm范围内可调,因此该泵的抽速可方便的适应不同的需求。内置的膜片材料质采用EPDM并有PTFE涂层。阀门采用KALREZ®,从而确保对腐蚀性气体具有优秀抗耐性。由于采用了三级设计,可轻松达到2mbar的压强。
•MLT 隔膜泵的极限压强低,双级8毫巴(6托)和三级2毫巴(1.5托) •接触气体的泵头其所有部件采用耐腐蚀的PTFE(Tefoln.FFPM)和PVDF(Solef)材料制造 •干式压缩、无油 •能抽水蒸气 •采用经过验证的高品质元件,维护成本低,使用寿命长 •维护工作简单,客户可执行 •运行噪音低 •便携、紧凑、尺寸小 •可以任意方位运行 •真空泵提供过热保护 典型应用•可提供四个抽速类别