测厚仪

KLA FilmetricsF20是一款高精度薄膜厚度测量仪，采用光谱反射技术，测量范围覆盖1纳米至3毫米，具备一键操作、非接触测量及多层结构分析能力，广泛应用于半导体、OLED、光伏、生物医学等领域，兼具高精度与易用性。

KLA R54 四探针电阻率测量仪是KLA的电阻率测量产品。从半导体制造到实现可穿戴技术所需的柔性电子产品，薄膜电阻监控对于任何使用导电薄膜的行业都相当重要。KLA R54 四探针电阻率测量仪在功能上针对金属薄膜均匀性测绘、离子注入表征和退火特性、薄膜厚度和电阻率测量以及非接触式薄膜厚度测量进行了优化。

Filmetrics F54 微区自动测量系统能以一个电动R-Theta平台自动移动到选定的测量点以每秒测绘两个点的速度快速的测绘薄膜厚度, 样品直径达450毫米，可选择数十种内建之同心圆,矩形,或线性图案模式,或自行建立无数量限制之测量点.只需具备基本电脑技能，就可在数分钟内自行建立配方。

Filmetrics F50 全自动Mapping薄膜厚度测量系统 依靠光谱测量系统，可以简单且快速地获得直径450毫米的样品薄膜的厚度分布图。采用r-θ极坐标移动平台，可以快速的定位所需测试的点并测试厚度，测试非常快速，大约每秒能测试两点。用户可以自己绘制需要的点位地图。Filmetrics F50 全自动Mapping薄膜厚度测量系统 配置精度高使用寿命长的移动平台，以求能够做成千上万次测量。

Filmetrics F60-t 自动膜厚仪就像我们的F50自动膜厚仪产品一样。主要测绘薄膜厚度和折射率。但它增加了许多用于生产环境的功能。这些功能包括凹槽自动检测、自动基准确定、全封闭测量平台、预装软件的工业计算机，以及可以升级到全自动化晶圆传输的机型。

Filmetrics F32 四通道在线式膜厚仪特殊的光谱分析系统采用半宽的3u rack- mount底盘，加上附加的分光计，可达到四个不同的位置(EXR和UVX版本至多两个位置)。F32膜厚仪软件可以通过数字I/O或主机软件来控制启动/停止/复位测量。测量数据可以自动导出到主机软件中进行统计过程控制。还提供可选的透镜组件，以便于集成到现有的生产装置上。

无论您是想要知道薄膜厚度、光学常数，还是想要知道材料的反射率和透过率，Filmetrics F20 单点便携式膜厚仪都能满足您的需要。仅需花费几分钟完成安装，通过USB连接电脑，设备就可以在数秒内得到测量结果。基于模块化设计的特点，Filmetrics F20 单点便携式膜厚仪适用于各种应用。

Filmetrics F54-XY-200 全自动Mapping膜厚分布测量系统，可以测量尺寸达200 x 200mm样品的薄膜厚度电动XY工作台自动移动到选定的测量点并提供厚度测量，达到每秒两点。您可以从数十种预定义的极性，矩形或线性测量坐标图案中选择，也可以创建自己编辑的测量点数量。此桌面系统只需几分钟即可完成设置，任何具有基本计算机技能的人都可以使用。