- 2025-05-15 15:33:27高分辨率场发射扫描电镜
- 高分辨率场发射扫描电镜是一种高性能的电子显微镜,具有高分辨率、高放大倍数及优异的图像质量。它采用场发射电子枪,能够产生高亮度、细小的电子束,实现对样品表面的高精度扫描成像。高分辨率场发射扫描电镜广泛应用于材料科学、纳米技术、生物医学等领域,用于观察和分析样品的微观形貌、结构及组成,为科学研究和技术创新提供了重要的成像手段。
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高分辨率场发射扫描电镜问答
- 2023-08-15 09:10:37二手日本电子 场发射扫描电镜
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- 2023-01-31 09:16:31场发射扫描电镜基本构造
- 一、电子源: 也称电子枪,产生连续不断的稳定的电子流。普通扫描电镜的电子枪由阴极(灯丝)、栅极和阳极组成。阴极采用能加热的钨丝,栅极围在阴极周围。被加热了的钨丝释放出电子,并在阳极和阴极之间施加高压,形成加速电场,从而使电子得到能量——高速飞向(在高真空镜筒中)样品。而场发射电子枪与普通钨丝电子枪有所不同,阴极呈杆状,在它的一端有个极锋利的尖点(直径小于100nm),尖 端的电场极强,电子直接依靠“隧道”穿过势垒离开阴极,由加速电压加速产生高速电子流飞向样品。一般来说,扫描电镜加速电压通常为1——30kV。二、电子透镜: 将从电子枪发射出来的电子会聚成直径最小为1——5nm电子束。 三、扫描系统: 使电子束作光栅扫描运动。
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- 2023-01-31 09:05:09场发射扫描电镜的性能特点
- 一、场发射扫描电镜分辨率高 在场发射扫描电镜中,人们最感兴趣的信号是二次电子和背散射电子,这两种信号的发射强度随着样品表面的形貌和化学成分而变化。二次电子产区限于入射电子束射人样品的附近区域,从而获得相当高的形貌分辨率,场发射扫描电镜(FESEM)的图像分辨率已经优于1nm,为纳米和亚微米尺度的研究提供了极大的便利。这类电镜属于场发射扫描电镜的高端产品。二、场发射扫描电镜放大倍率宽放大倍率与分辨率密切相关,为了获得高分辨率图像,必须使用高放大倍率。光镜放大倍率有限,最 高到1500倍,透射电镜放大倍率可以高达100万倍、扫描电镜放大倍率范围可以从几倍至几十万倍,三种显微镜的放大倍率成为一个系列。在扫描电镜中,利用低倍观察样品的全貌,利用高倍研究样品的微观细节。操作时放大倍率连续可调,使用非常方便。低倍图像有光镜图像的特点,扫描电镜图像比较直观,容易解释。高倍图像可以与相应的透射电镜图像相比对。三、场发射扫描电镜三维立体效果好光镜和透射电镜图像景深小,只能观察样品某个平面,在深度方向上是模糊的。扫描电镜图像景深大,有的电镜在电子光学系统上经过特殊设计,可以提供几十毫米的景深范围,即一张场发射扫描电镜像不仅在X,Y两个方向上的细节清晰,而且在图像深度方向也很清楚。一幅两维图像,可以提供三维信息,使人们获得更多的微观信息量,适用于表面粗糙样品的观察,例如:金属材料断口、颗粒样品的三维形态分析。利用扫描电镜样品台的同轴心倾斜,可以获得样品的立体图像对(Stereo pairs),经合成后,变成立体图像,使用图像分析软件可以准确测量深度方向的数据,这是扫描电镜独特的性能。
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- 2022-02-09 11:34:47热场发射扫描电子显微镜JSM-7610FPlus
- 二次电子像分辨率 0.8 nm(加速电压 15 kV),1.0 nm(加速电压 1 kV )分析时 3.0 nm (加速电压 15 kV, WD 8 mm, 探针电流 5 nA ) 倍率 Direct magnification: x25 to 1,000,000(120 x 90 mm)Display magnification: x75 to 3,000,000(1,280 x 960 pixels) 加速电压 0.1 ~ 30 kV 探针电流 数 pA ~ 200 nA 电子枪 浸没式肖特基场发射电子枪 透镜系统 聚光镜(CL)、 最 佳光阑角控制镜(ACL)、 半浸没式物镜(OL) 样品台 全对中测角样品台、5轴马达驱动 电子检测器系列 高位检测器、 r‐过滤器 内置、 低位检测器 自动功能 自动聚焦、自动消象散、自动亮度/衬度调节 图像观察用液晶显示器 屏幕尺寸 23英寸宽屏 分辨率 1,920 × 1,080像素 抽真空系统 电子枪室/中间室 SIP 离子泵样品室 TMP 分子泵
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- 2025-05-16 11:15:25扫描电镜怎么聚焦
- 扫描电镜怎么聚焦 扫描电镜(SEM,Scanning Electron Microscope)作为一种强大的分析工具,广泛应用于材料科学、生物学、半导体等领域。其核心功能之一就是通过的聚焦技术,确保扫描电子束能够高效且清晰地探测样品表面特征,从而提供高分辨率的图像和数据。要获得高质量的扫描图像,正确的聚焦至关重要。在这篇文章中,我们将详细探讨扫描电镜的聚焦原理、聚焦过程中常见的问题以及如何通过合理调整参数确保佳成像效果。 扫描电镜的聚焦原理 扫描电镜的基本原理是利用电子束扫描样品表面,并通过探测二次电子、背散射电子等信号来形成图像。电镜中的电子束必须聚焦在样品的表面,以获得清晰的图像。聚焦过程通过调节电子束的大小、形状和射向样品的角度来实现,这需要精确的控制电子镜头系统。在SEM中,电子镜头通常由多个磁透镜构成,每个透镜通过调整电流来影响电子束的聚焦度。 如何聚焦扫描电镜 调节光圈:光圈控制电子束的大小,它直接影响到束流的强度和成像的深度。当光圈调整不当时,电子束可能会扩散或聚焦不清,导致图像模糊。通常,使用较小的光圈会提供更高的分辨率,但也会减小视场。 调整物镜透镜:扫描电镜通过物镜透镜进行精确聚焦。物镜透镜的调节主要是通过改变电流强度来实现。当样品距离透镜不合适时,图像会显得不清晰,因此调整物镜透镜的位置是确保清晰成像的关键。 对焦的细节调节:在实际操作中,电镜通常配备精细的对焦系统,允许用户在微米甚至纳米级别精确调节焦点。通过在图像屏幕上观察样品表面,可以实时调整焦距,直到图像清晰为止。 常见的聚焦问题及其解决方法 图像模糊:这通常是由于对焦不准或电子束未能有效聚焦所致。解决方法是通过调整物镜透镜和光圈来重新聚焦,或者检查电镜的电子源是否稳定。 样品表面损伤:当聚焦过于集中时,电子束的能量过高可能会对样品表面造成损害。为避免这种情况,应适当减小束流并适当调节对焦。 焦点漂移:由于样品或电镜系统的温度变化,焦点可能会发生漂移。为了克服这个问题,使用精细的对焦调节系统是非常重要的。 如何确保佳聚焦效果 在扫描电镜的操作中,确保佳聚焦效果的关键是细致的调节和耐心的操作。除了基础的物镜调节和光圈控制外,操作员应当熟悉样品的特性和扫描参数的影响,并能够根据实际情况调整聚焦参数。保持电镜系统的稳定性,定期校准设备,也能大大提高聚焦效果和图像质量。 扫描电镜的聚焦是一个精细而复杂的过程,只有通过对电子束的准确控制与合理调节,才能确保获得高质量的扫描图像。掌握这一过程的技巧,能够极大提升扫描电镜在科学研究和工业应用中的精度和可靠性。
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