氦质谱检漏仪浅析1---氦气
氦质谱检漏仪浅析1---氦气
氦质谱检漏仪（Helium LeakDetector，HLD）是用氦气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。
氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并 易扩散；另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，氦气通常用作氦质谱检漏仪的示踪气体。特点如下：
1. 由于空气中的氦含量非常低，氦的背景值较低，这有利于发现极少量的氦：
2. 氦分子体积小，重量轻，易于扩散，易于穿透泄漏，易于识别：
3. 氦离子具有低的电荷质量比，并且易于进行质谱分析；
4. 氦是一种惰性气体，具有稳定的化学性能，不会腐蚀或损坏设备；
5. 氦是无毒的，而且极难保存在水中。
氦气：空气中的氦含量为0.0005%（百万分之五）。氦气通常是无色无味的气体；熔点-272.2°C（25 atm），沸点-268.9°C；密度0.1785g/L，临界温度-267.8℃，临界压力2.26大气压；水溶性为8.61cm³/kg水。
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