半导体 | 光学缺陷检测

? 缺陷复查（光学及电子束），针对检测设备检出的缺陷，使用光学显微技术或扫描电镜技术确认其缺陷细节。

1）产品特点

● 多种分辨率，最高分辨率达 0.1um;

● 测量速度快，产能可以到 6pcs/hr（6inch，0.2um分辨率下），检出率 95%

● 设备稳定性和可靠性高;

● 自动缺陷分类、自动缺陷图像存储、自动及手动缺陷复查;

● 高速、高数据率和高灵敏度图像处理系统;

● 亚像素的分辨率（1/10 像素）;

● 可灵活扩容图像处理吞吐能力。

3）光学系统

● 高速 TDI 线阵扫描；

● 实时自动聚焦；

● 高分辨率：分辨率低至 0.5um ；

4）运动系统

● 多轴运动平台

● 高精度，XY 重复性 ±0.5um 

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