仪器分类: | 接触式 |
布鲁克Bruker白光干涉光学轮廓仪 Contour X, 满足微纳米表面测量需要
简介:
•桌面型精巧款式
•采集数据,自动测量,分析和数据后处理,一气呵成的完备方案
•样品尺寸:
•150 mm x 150 mm x 92 mm
•最 大承载 4.5 kg
•垂直分辨率: < 0.01nm @ 所有视场下
•横向分辨:
•最 佳0.3µm (±150nm)
•AcuityXR 0.15µm (±75nm)
•基于白光干涉原理,结果可溯源
白光干涉技术内在优势
垂直分辨率
普适性,易于操作、各种样品类型与表面
计量
硬件,为性能所做优化
物镜,为挑战性测量专门设计
完备的自动化测量系统标准配置
独特的缝合功能
针对不同应用下,提升效率
ContourX
关键好处
ZJ高质量计量
作为桌面型轮廓仪
布鲁克白光干涉轮廓仪
专为您的应用服务
•从每日测试挑战到满足严苛要求,可靠的表面计量
•不同应用示例:展示布鲁克白光干涉独到之处
•薄膜与镀层
•精密加工
•材料研究
•MEMS与传感器
•光学元器件
•半导体
•摩擦学
薄膜与镀层:表面粗糙度与厚度,独特的准确性
表面粗糙度与平整度
满足您的严苛要求
材料研究:表面纹理,揭示最微小的细节
MEMS和传感器
关键尺寸– 质量控制,匹配您的所有需求
关键尺寸– 质量控制,完备的自动化组件
光学元器件:全频谱密度的粗糙度信息
光栅与光学器件,亚微米计量
微型光学形貌表征
缺陷侦测
半导体:质量监控与工艺开发,匹配您的应用需求
质量监控与工艺开发,完备的软件平台
关键尺寸– 质量控制
完备的自动化组件
摩擦学
表面纹理与磨损体积(速率)
满足您对准确性的需求
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