JEOL截面样品抛光仪 IB-19520CCP

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详细介绍

IB-19520CCP 截面样品抛光仪

IB-19520CCP在加工过程中利用液氮冷却，能减轻离子束对样品造成的热损伤。冷却持续时间长、液氮消耗少的构造设计。在装有液氮的情况下，也能将样品快速冷却、恢复到室温，并且可以拆卸。配有传送机构，在隔离空气的环境下能完成从加工到观察的全过程。

产品规格：

离子加速电压	2 ～ 8 kV
离子束直径	500 um( FWHM)
研磨速率	500 um（两小时的平均值、8 kV、硅材质换算、突出量:100 um）
样品架冷却达到的温度	-120 ℃
样品冷却持续时间	8小时以上
制冷箱容量	约1升
承载样品的最大尺寸	11mm(长) × 8mm（宽）× 3mm（厚）
样品台移动范围	X轴：±6mm、Y轴：±2.5mm
固定样品方法	夹式
样品加工摆角	±30°
加工观察用相机的倍率	约20～100倍（6.5寸显示器上）机械泵: 150 mm（宽） × 427 mm（长） × 230 mm（高）、约16 kg
空气隔离系统	转移舱
空气隔离法	将舱内设定成氩气气氛，盖上转移舱盖子，将样品封在舱里。
操作方法	触控屏、6.5寸显示器
使用气体	氩气(用质量流量控制器控制流量)
压力测试	潘宁真空计
主抽真空系统	涡轮分子泵
辅助抽真空系统	机械泵
尺寸、重量	主机：约670mm (宽) × 720mm(长) × 530mm(高)、约73kg 机械泵：约150 mm (宽) × 430 mm(长) × 230 mm(高)、约16kg
选配件	大型旋转样品架（IB‐11550LSRH)、（IB‐11550LSRH)　基座样品架（IB‐11560MBSH)　大型样品架（IB-11570LSH)　　喷碳样品架（IB-12510CCH）
电源	单相100～120 V±10%、50/60 Hz、0.6 kVA
接地线	独立地线(100 Ω以下)
氩气	使用压力：0.15±0.05 MPa(1.0 ～ 2.0 kg/cm²) 纯度99.9999%以上(氩气、气瓶及调压器由客户自备) 金属配管连接口:JISB0203 RC1/4
室温	15～25 ℃
湿度	60%以下