详细介绍
德Zeiss Sigma SEM 电子束直写仪
型号：Zeiss Sigma SEM
主要功能：
·利用曝光抗蚀剂，采用电子束直接曝光，可在各种衬底材料表面直写各种图形，图形结构（最小线宽为10nm），是研究材料在低维度、小尺寸下量子行为的重要工具。广泛应用于纳米器件，光子晶体，低维半导体等前沿领域。
技术指标：
·肖特基热场发射电子源
·加速电压：100V～30kV
·放大倍率：12X～1000,000X
·SEM分辨率：1nm@30kV,1.5nm (15kV),2.8nm（1kV）
·电子束曝光：10nm（20kV）
·场拼接精度：<100nm
·扫描频率：6MHz
·图形格式：GDSII
产品优势
德Zeiss 电子束直写仪 Sigma SEM，利用曝光抗蚀剂，采用电子束直接曝光，可在各种衬底材料表面直写各种图形，图形结构（最小线宽为10nm），是研究材料在低维度、小尺寸下量子行为的重要工具。广泛应用于纳米器件，光子晶体，低维半导体等前沿领域。
- 产品分类
- 品牌分类
- 光刻机/3D打印机/电子束直写仪
- 镀膜沉积系统
- 离子刻蚀与沉积系统
- 匀胶涂覆系统
- 半导体辅助工艺/光刻胶
- 半导体微纳检测仪
- 实验检测仪器
- 太阳能检测仪
- 紫外线UV光清洗/等离子清洗
- 晶圆贴片/贴膜/UV解胶机/晶圆清洗机
- （德国）德国iplas
- （美国）美国Jelight
- （美国）美国Sinton Instruments
- （美国）美国Nano-Master
- （美国）美国novascan
- （美国）美国Neocera
- （美国）美国Trion
- （美国）美国UVOCS
- （成都）中科院
- （台北）台湾正恩科技
- （比利时）比利时宝镭泽
- （德国）德国Allresist
- （瑞士）瑞士Sawatec
- （德国）德国Diener
- （美国）美国AZ technology
- （美国）美国劳瑞尔
- （美国）美国Uvitron
- （英国）英国EMS
- （美国）美国MicroChem
- （德国）德国Optosol
- （深圳）深圳一正
- （德国）德国FS Bondtec
- （美国）美国Newport
- （英国）英国MML
- （美国）美国Nisene
- （美国）美国VTI
- （美国）美国FEI
- （美国）美国RKD
- （德国）德国PVA TePla
- （日本）日本理学
- （英国）英国AML
- （美国）美国PI
- （日本）富士
- （日本）日本Advance Riko
- （美国）美国Sonoplot
- （香港）托普斯
- （美国）美国Quantum Design
- （美国）美国泰德派勒
- （丹麦）丹麦NIL TECHNOLOGY
- （日本）日本RIBM
- （美国）美国SCS
- （瑞典）瑞典Obducat
- （德国）德国布鲁克
- （韩国）韩国ATI
- （德国）德国海德堡
- （日本）日本伊领科思
- （美国）赛默飞世尔
- （西班牙）西班牙Mecwins
- （德国）德国纳糯
- （德国）徕卡生物系统
- （美国）美国泰克
- （美国）美国Harrick
- （德国）德国SUSS MicroTec
- （日本）日本基恩士
- （瑞士）瑞士nanosurf
- （德国）德国ParcanNano
- （德国）德国蔡司
- （奥地利）奥地利EVG
- （美国）美国MMR
- （英国）英国牛津
- （德国）德国Raith
- （日本）日本 Ulvac
- （韩国）韩国ECOPIA
- （德国）凯斯安KSI
- （德国）德国Eulitha
- （苏州）苏州纳维科技
- （新竹）台湾智果整合
- （德国）德国Nanoscribe
- （俄罗斯）俄罗斯Optosystem
- （法国）法国Annealsys
- （德国）德国Klocke Nanotechnik
- （荷兰）荷兰TSST
- （英国）英国Durham Magneto Optic
- （德国）德国Finetech
- （日本）日本AND
- （日本）日本Tohuko
- （瑞典）瑞典Mycronic
- （日本）日本理音
- （美国）美国KLA
- （美国）美国D&S
- （瑞士）瑞士Swisslitho AG
- （德国）德国MBE-Komponenten
- （美国）美国RTI
- （英国）英国牛津真空
- （日本）日本电子
- （德国）德国UniTemp
- （美国）美国Nanovea
- （美国）美国德龙
- （日本）日本尼康
- （美国）湖岸LakeShore
- （美国）美国SONIX
- （德国）德国YXLON
- （美国）美国OAI
- （美国）美国阿兹特克
- （美国）美国Royce
- （美国）美国OGP
- （美国）美国相干
- （深圳）杰普特
- （美国）美国Filmetrics
- （美国）美国Thorlabs
- （美国）美国nanoArch
- （英国）英国Quorum
- （美国）美国Anasazi
- （美国）美国Montana Instruments
- （芬兰）芬兰Picosun
- （土耳其）土耳其ADLEMA
- （苏州）苏州纽迈
- （法国）法国Alyxan
- （英国）英国NanoBeam
- （德国）德国YXLON
- （德国）德国neaspec
- （瑞典）瑞典NanOsc
- （德国）德国Sentech
- （德国）德国Attocube Systems
- （东莞）庆达VIPUV
- （英国）英国HHV
- （德国）德国耐驰
- （英国）NanoMagnetics
- （法国）法国Plassys
- （美国）美国Associated Research
- （日本）日立
- （英国）牛津仪器
- （德国）德国克吕士
- （美国）美国SCIEX
- （美国）美国Denton Vacuum
- （日本）日本SEN
- （美国）美国海马
-
仪企号
深圳市蓝星宇电子科技有限公司
-
友情链接
