详细介绍
终级型大尺寸掩膜版生产工具:VPG1600
新型Volume High Generator(VPG)大尺寸图形发生器,是海德堡科技在大型光学系统上科技的创新与突破的里程碑。其利用独 家ZG的技术“宽阔的平行化曝光制程技术”而开发出来的。
VPG是目前掩膜板大尺寸,大批量生产的可靠而又经济的解决方案,特别适用诸如:需要大量掩膜版的电子封装产业,彩色滤光片产业,以及其它特别需要大面积,而且高分辨率需求相关产业。另外,VPG还可以提供优异的影像质量与注记差异(实际掩膜板与资料的差异)。
VPG 设计有可以搭载多样化不同尺寸的承载平台,例如:1600mm*1400mm,1100mm*1100mm,800mm*800mm. 但这些系统都安装有气浮装置,可配置半自动或者全自动的上下版装置,并且可以选择zui高输出功率20W的UV激光发射头。微细化的写入步距,可以确保优越的粗糙度和连接边界。平台位置自动校正技术,可以进行优异的自我校正,以达到精 准的定位效果。
产品优势
VPG 设计有可以搭载多样化不同尺寸的承载平台,例如:1600mm*1400mm,1100mm*1100mm,800mm*800mm. 但这些系统都安装有气浮装置,可配置半自动或者全自动的上下版装置,并且可以选择zui高输出功率20W的UV激光发射头。
- 产品分类
- 品牌分类
- 光刻机/3D打印机/电子束直写仪
- 镀膜沉积系统
- 离子刻蚀与沉积系统
- 匀胶涂覆系统
- 半导体辅助工艺/光刻胶
- 半导体微纳检测仪
- 实验检测仪器
- 太阳能检测仪
- 紫外线UV光清洗/等离子清洗
- 晶圆贴片/贴膜/UV解胶机/晶圆清洗机
- (荷兰)荷兰TSST
- (英国)英国Durham Magneto Optic
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- (日本)日本AND
- (日本)日本Tohuko
- (瑞典)瑞典Mycronic
- (日本)日本理音
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- (美国)美国德龙
- (日本)日本尼康
- (美国)湖岸LakeShore
- (美国)美国SONIX
- (德国)德国YXLON
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- (美国)美国相干
- (深圳)杰普特
- (美国)美国Filmetrics
- (美国)美国Thorlabs
- (美国)美国nanoArch
- (英国)英国Quorum
- (美国)美国Anasazi
- (美国)美国Montana Instruments
- (芬兰)芬兰Picosun
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- (苏州)苏州纽迈
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- (德国)德国Sentech
- (德国)德国Attocube Systems
- (东莞)庆达VIPUV
- (英国)英国HHV
- (德国)德国耐驰
- (英国)NanoMagnetics
- (法国)法国Plassys
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- (日本)日立
- (英国)牛津仪器
- (德国)德国克吕士
- (美国)美国SCIEX
- (美国)美国Denton Vacuum
- (日本)日本SEN
- (美国)美国海马
- (德国)德国iplas
- (美国)美国Jelight
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- (美国)美国Nano-Master
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- (美国)美国Neocera
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