详细介绍
NanoFrazor 3D纳米结构高速直写机 源自IBMzui新研发成果 |  |
| NanoFrazor纳米3D结构直写机的问世，源于发明STM和AFM的IBM苏黎世研发中心，是其在纳米加工技术的zui新研究成果。NanoFrazor纳米3D结构直写机第 一次将纳米尺度下的3D结构直写工艺快速化、稳定化。 |
 | NanoFrazor采用直径为5nm的探针，通过静电力精确控制实现直写3D高精度直写，并通过悬臂一侧的热传感器实现实时的形貌探测。相对于其他制备技术如电子束曝光/光刻技术(EBL), 聚焦离子束刻蚀(FIB)有以下特点： |
| ■ 3D纳米直写能力 高直写精度 (XY: 10nm, Z: 1nm) 高速直写 20 mm/s 与EBL媲美 ■ 无需显影，实时观察直写效果形貌感知灵敏度0.1nm 样品无需标记识别，多结构套刻，对准精度 5nm ■ 无临近效应 高分辨，高密度纳米结构 ■ 无电子/离子损伤 高性能二维材料器件 ■ 区域热加工和化学反应 多元化纳米结构改性 ■ 大样品台 100mm X 100mm |
| 新产品发布：NEW！！ | NanoFrazor Scholar --小面积直写 |
 | ■ 3D纳米直写能力 高直写精度 (XY: 30nm, Z: 1nm) 高速直写 10 mm/s ■ 无需显影，实时观察直写效果形貌感知灵敏度0.1nm 样品无需标记识别，多结构套刻，对准精度 10 nm ■ 无临近效应 高分辨，高密度纳米结构 ■ 无电子/离子损伤 高性能二维材料器件 ■ 区域热加工和化学反应 多元化纳米结构改性 ■ 小样品台 30mm X 30mm |
| 该技术自问世以来已经多次刷新了世界上最小3D立体结构的尺寸，创造了世界上最小的马特洪峰模型，最小立体世界地图，最小刊物封面等世界记录。 |
 |  |  |
| 独特的直写与反馈流程 | |
PPA(聚苯二醛) 直写胶涂敷在样品表面。 背热式直写探针，微区电阻式加热针尖。与针尖接近的PPA受热瞬间分解，周围部分由于PPA热导率低而不受影响。 热针震动模式直写，直写时探针加热，每次下针幅度受静电力控制，垂直精度 1 nm，从而写出3D图形。 冷针接触模式扫描，回程扫描时探针冷却，由侧壁的热感应器探测样品高度变化(精度0.1nm), 获得样品形貌。反馈数据修正下一行直写。 |
| 独有的直写针尖设计 |
   |
| 普通的AFM针尖无法满足上述NanoFrazor直写流程的需求，因此NanoFrazor所用针尖是由IBM专门研发设计的。该针尖具有两个电阻加热区域，针尖上方的加热区域可以加热到1000oC。 第二处加热区域作为热导率传感器位于侧臂处，其能感知针尖与样品距离的变化，精度高达0.1 nm。因此在每行直写进程结束后的回扫结构时，并不是通过针尖 起伏反馈形貌信息，而是通过热导率传感器感应形貌变化，从而实现了比AFM快1000余倍的扫描速度，同避免了针尖的快速磨损消耗。 |
 |
| NanoFrazor技术特点 |
 |
 |
 |
 |
 |
其他功能 ● 纳米颗粒有序定位排列 ● 纳米局部化学反应诱导 ● 表面化学图案、结构生成 |  纳米颗粒有序定位排列 |  氧化石墨烯的定位还原 |
图形转移 通过NanoFrazor3D纳米结构直写机获得的纳米图形结构，可以通过传统成熟的工艺技术，如干法刻蚀，电镀、注射成型法等进行图形转移。 |
 |
| 应用领域 | |||
 | 快速原型设计开发 ● 衍射透镜，全息图 ● 非球面微透镜阵列 ● 波导纤维、光子晶体 ● MEMS/NEMS ● 表面等离子激元，超材料 ● 纳米磁学 ● 纳米电子器件 ● 生物细胞研究 ● 纳米流体控制 ● 反物质物理学 | 微纳结构 ● 防伪标识 ● DFB 激光、 ● ASICs 的关键部位加工 模板加工 ● 光掩模板 ● 纳米压印印章 ● 注射成型模具
|  |
 |  | ||
 |  | ||
 |  |
产品优势
■ 3D纳米直写能力
高直写精度 (XY: 10nm, Z: 1nm)
高速直写 20 mm/s 与EBL媲美
■ 无需显影，实时观察直写效果
形貌感知灵敏度0.1nm
样品无需标记识别，多结构套刻，对准精度 5nm
■ 无临近效应
高分辨，高密度纳米结构
■ 无电子/离子损伤
高性能二维材料器件
■ 区域热加工和化学反应
多元化纳米结构改性
■ 大样品台
100mm X 100mm
高直写精度 (XY: 10nm, Z: 1nm)
高速直写 20 mm/s 与EBL媲美
■ 无需显影，实时观察直写效果
形貌感知灵敏度0.1nm
样品无需标记识别，多结构套刻，对准精度 5nm
■ 无临近效应
高分辨，高密度纳米结构
■ 无电子/离子损伤
高性能二维材料器件
■ 区域热加工和化学反应
多元化纳米结构改性
■ 大样品台
100mm X 100mm
- 产品分类
- 品牌分类
- 光刻机/3D打印机/电子束直写仪
- 镀膜沉积系统
- 离子刻蚀与沉积系统
- 匀胶涂覆系统
- 半导体辅助工艺/光刻胶
- 半导体微纳检测仪
- 实验检测仪器
- 太阳能检测仪
- 紫外线UV光清洗/等离子清洗
- 晶圆贴片/贴膜/UV解胶机/晶圆清洗机
- （德国）德国UniTemp
- （美国）美国Nanovea
- （美国）美国德龙
- （日本）日本尼康
- （美国）湖岸LakeShore
- （美国）美国SONIX
- （德国）德国YXLON
- （美国）美国OAI
- （美国）美国阿兹特克
- （美国）美国Royce
- （美国）美国OGP
- （美国）美国相干
- （深圳）杰普特
- （美国）美国Filmetrics
- （美国）美国Thorlabs
- （美国）美国nanoArch
- （英国）英国Quorum
- （美国）美国Anasazi
- （美国）美国Montana Instruments
- （芬兰）芬兰Picosun
- （土耳其）土耳其ADLEMA
- （苏州）苏州纽迈
- （法国）法国Alyxan
- （英国）英国NanoBeam
- （德国）德国YXLON
- （德国）德国neaspec
- （瑞典）瑞典NanOsc
- （德国）德国Sentech
- （德国）德国Attocube Systems
- （东莞）庆达VIPUV
- （英国）英国HHV
- （德国）德国耐驰
- （英国）NanoMagnetics
- （法国）法国Plassys
- （美国）美国Associated Research
- （日本）日立
- （英国）牛津仪器
- （德国）德国克吕士
- （美国）美国SCIEX
- （美国）美国Denton Vacuum
- （日本）日本SEN
- （美国）美国海马
- （德国）德国iplas
- （美国）美国Jelight
- （美国）美国Sinton Instruments
- （美国）美国Nano-Master
- （美国）美国novascan
- （美国）美国Neocera
- （美国）美国Trion
- （美国）美国UVOCS
- （成都）中科院
- （台北）台湾正恩科技
- （比利时）比利时宝镭泽
- （德国）德国Allresist
- （瑞士）瑞士Sawatec
- （德国）德国Diener
- （美国）美国AZ technology
- （美国）美国劳瑞尔
- （美国）美国Uvitron
- （英国）英国EMS
- （美国）美国MicroChem
- （德国）德国Optosol
- （深圳）深圳一正
- （德国）德国FS Bondtec
- （美国）美国Newport
- （英国）英国MML
- （美国）美国Nisene
- （美国）美国VTI
- （美国）美国FEI
- （美国）美国RKD
- （德国）德国PVA TePla
- （日本）日本理学
- （英国）英国AML
- （美国）美国PI
- （日本）富士
- （日本）日本Advance Riko
- （美国）美国Sonoplot
- （香港）托普斯
- （美国）美国Quantum Design
- （美国）美国泰德派勒
- （丹麦）丹麦NIL TECHNOLOGY
- （日本）日本RIBM
- （美国）美国SCS
- （瑞典）瑞典Obducat
- （德国）德国布鲁克
- （韩国）韩国ATI
- （德国）德国海德堡
- （日本）日本伊领科思
- （美国）赛默飞世尔
- （西班牙）西班牙Mecwins
- （德国）德国纳糯
- （德国）徕卡生物系统
- （美国）美国泰克
- （美国）美国Harrick
- （德国）德国SUSS MicroTec
- （日本）日本基恩士
- （瑞士）瑞士nanosurf
- （德国）德国ParcanNano
- （德国）德国蔡司
- （奥地利）奥地利EVG
- （美国）美国MMR
- （英国）英国牛津
- （德国）德国Raith
- （日本）日本 Ulvac
- （韩国）韩国ECOPIA
- （德国）凯斯安KSI
- （德国）德国Eulitha
- （苏州）苏州纳维科技
- （新竹）台湾智果整合
- （德国）德国Nanoscribe
- （俄罗斯）俄罗斯Optosystem
- （法国）法国Annealsys
- （德国）德国Klocke Nanotechnik
- （荷兰）荷兰TSST
- （英国）英国Durham Magneto Optic
- （德国）德国Finetech
- （日本）日本AND
- （日本）日本Tohuko
- （瑞典）瑞典Mycronic
- （日本）日本理音
- （美国）美国KLA
- （美国）美国D&S
- （瑞士）瑞士Swisslitho AG
- （德国）德国MBE-Komponenten
- （美国）美国RTI
- （英国）英国牛津真空
- （日本）日本电子
-
仪企号
深圳市蓝星宇电子科技有限公司
-
友情链接
