自动化: | 手动 |
德国 PVA TePla 等离子清洗机
型号:IoN 100 WB等离子清洗机
IoN 100 WB是我们zuixin推出的具有高性价比的真空等离子清洗设备。它来源于IoN 100系列,IoN 100 WB延续了同样的高品质保障,包括可选压力控制器、光谱终点检测器以及各种不同的电极组构造。
IoN 100 WB旨在满足客户大批量生产的需求,着重于表面处理的多功能性和可控性。其先进的性能提供了出色的工艺控制、失效报警系统和数据采集软件。这使得该设备可满足半导体、生命科学等领域严格的控制要求。IoN 100 WB结构紧凑,集成度高,采用射频(RF)频率激发等离子体。
IoN 100 WB的另一个独特之处是可以迅速快捷的更换不同类型的电极结构。
先进的功能特性:
● 触摸屏操作,图形用户界面(GUI)
● 可配置的腔室可使用不同类型电极,适用于大批量处理或特殊的垂直悬挂处理
● 使用Windows系统的工业计算机控制
● 工艺员、操作元、维护员访问权限控制
● 自诊断功能和警报记录功能,联网在线诊断功能
● 以太网远程控制功能
● 工艺编辑软件提供了快速灵活的步骤控制功能
● 安装简单快捷
规格参数
工作腔室材料 铝(标配)
容积 107 升
内部尺寸 375 x 375 x 762 mm(宽/高/深)
工艺气体
质量流量控制计 最多至6路气体
工艺压力 200-2000 mTorr(取决于真空泵和气体流量)
抽真空时间 大约1分钟 (取决于真空泵)
射频电源 风冷13.56MHz,600 瓦(标准配置)
供给需求电源 220V 单相, 50Hz
工艺气体 输入压力 1-2 bar
吹扫气体 输入压力 1-2 bar
压缩空气 输入压力 4-6 bar
机体
● 独立的机体带有所有电源和气体接口
● 带有旋转垫脚的可转动机身
设备尺寸
标准尺寸 1067 x 737 x 1245 mm(宽/高/深,不含泵)
重量 约239千克(不含泵)
可选项
● 不锈钢腔体
● 压力控制器
● 1%精度的真空规
● 指示灯柱
● 条形码阅读器
● 工艺气体切换器
● 光谱终点检测器
● 耐腐蚀性气体的MFC
● 1000 瓦13.56 MHz射频发生器
● 水冷机
● 液态单体操作装置
● 真空泵(油泵、干泵或罗茨泵组)
● 汽相MFC
- 产品分类
- 品牌分类
- 光刻机/3D打印机/电子束直写仪
- 镀膜沉积系统
- 离子刻蚀与沉积系统
- 匀胶涂覆系统
- 半导体辅助工艺/光刻胶
- 半导体微纳检测仪
- 实验检测仪器
- 太阳能检测仪
- 紫外线UV光清洗/等离子清洗
- 晶圆贴片/贴膜/UV解胶机/晶圆清洗机
- (英国)NanoMagnetics
- (法国)法国Plassys
- (美国)美国Associated Research
- (日本)日立
- (英国)牛津仪器
- (德国)德国克吕士
- (美国)美国SCIEX
- (美国)美国Denton Vacuum
- (日本)日本SEN
- (美国)美国海马
- (德国)德国iplas
- (美国)美国Jelight
- (美国)美国Sinton Instruments
- (美国)美国Nano-Master
- (美国)美国novascan
- (美国)美国Neocera
- (美国)美国Trion
- (美国)美国UVOCS
- (成都)中科院
- (台北)台湾正恩科技
- (比利时)比利时宝镭泽
- (德国)德国Allresist
- (瑞士)瑞士Sawatec
- (德国)德国Diener
- (美国)美国AZ technology
- (美国)美国劳瑞尔
- (美国)美国Uvitron
- (英国)英国EMS
- (美国)美国MicroChem
- (德国)德国Optosol
- (深圳)深圳一正
- (德国)德国FS Bondtec
- (美国)美国Newport
- (英国)英国MML
- (美国)美国Nisene
- (美国)美国VTI
- (美国)美国FEI
- (美国)美国RKD
- (德国)德国PVA TePla
- (日本)日本理学
- (英国)英国AML
- (美国)美国PI
- (日本)富士
- (日本)日本Advance Riko
- (美国)美国Sonoplot
- (香港)托普斯
- (美国)美国Quantum Design
- (美国)美国泰德派勒
- (丹麦)丹麦NIL TECHNOLOGY
- (日本)日本RIBM
- (美国)美国SCS
- (瑞典)瑞典Obducat
- (德国)德国布鲁克
- (韩国)韩国ATI
- (德国)德国海德堡
- (日本)日本伊领科思
- (美国)赛默飞世尔
- (西班牙)西班牙Mecwins
- (德国)德国纳糯
- (德国)徕卡生物系统
- (美国)美国泰克
- (美国)美国Harrick
- (德国)德国SUSS MicroTec
- (日本)日本基恩士
- (瑞士)瑞士nanosurf
- (德国)德国ParcanNano
- (德国)德国蔡司
- (奥地利)奥地利EVG
- (美国)美国MMR
- (英国)英国牛津
- (德国)德国Raith
- (日本)日本 Ulvac
- (韩国)韩国ECOPIA
- (德国)凯斯安KSI
- (德国)德国Eulitha
- (苏州)苏州纳维科技
- (新竹)台湾智果整合
- (德国)德国Nanoscribe
- (俄罗斯)俄罗斯Optosystem
- (法国)法国Annealsys
- (德国)德国Klocke Nanotechnik
- (荷兰)荷兰TSST
- (英国)英国Durham Magneto Optic
- (德国)德国Finetech
- (日本)日本AND
- (日本)日本Tohuko
- (瑞典)瑞典Mycronic
- (日本)日本理音
- (美国)美国KLA
- (美国)美国D&S
- (瑞士)瑞士Swisslitho AG
- (德国)德国MBE-Komponenten
- (美国)美国RTI
- (英国)英国牛津真空
- (日本)日本电子
- (德国)德国UniTemp
- (美国)美国Nanovea
- (美国)美国德龙
- (日本)日本尼康
- (美国)湖岸LakeShore
- (美国)美国SONIX
- (德国)德国YXLON
- (美国)美国OAI
- (美国)美国阿兹特克
- (美国)美国Royce
- (美国)美国OGP
- (美国)美国相干
- (深圳)杰普特
- (美国)美国Filmetrics
- (美国)美国Thorlabs
- (美国)美国nanoArch
- (英国)英国Quorum
- (美国)美国Anasazi
- (美国)美国Montana Instruments
- (芬兰)芬兰Picosun
- (土耳其)土耳其ADLEMA
- (苏州)苏州纽迈
- (法国)法国Alyxan
- (英国)英国NanoBeam
- (德国)德国YXLON
- (德国)德国neaspec
- (瑞典)瑞典NanOsc
- (德国)德国Sentech
- (德国)德国Attocube Systems
- (东莞)庆达VIPUV
- (英国)英国HHV
- (德国)德国耐驰
-
仪企号深圳市蓝星宇电子科技有限公司
-
友情链接