KSI V300E 单探头超声波扫描显微镜
1.扫描机械机构
Ø X轴和Y轴驱动系统全是磁悬浮高速线性电机
Ø *X、Y轴有效最大扫描区域:300mm×300mm
Ø *X、Y轴最大扫描速率:2m/s
Ø X、Y轴最大扫描加速度:30m/s2
Ø X、Y轴的重复精度:±0.1um
Ø 扫描驱动装置Z轴:自锁步进马达
Ø Z轴的重复精度:±0.25um
Ø 具有自动对焦功能
Ø Z轴升降行程:100mm
2.脉冲信号收发器和换能器
Ø 扫描工作模式:单通道工作模式
Ø 脉冲信号收发器带宽:5MHz~500MHz
Ø 射频总增益:72dB,以1dB/步增减调节
Ø *换能器要求及数量:
15MHz/f=0.75” 1个 ,检测TO封装等的厚型塑封器件
30MHz/f=12.7mm 1个 ,检测常规的塑封器件
40MHz/f=20mm 1个 ,检测IGBT等大功率模组
110MHz/f=8mm 1个 ,检测Flipchip/BGA等薄型器件
175MHz/f=8mm 1个 ,检测zuixin型结构的器件或新设计
透射模组(含20MHz接收探头) 1套,用来做IC的快速批量检测或PCB板的检测
Ø 模数转换卡ADC 1GHz
Ø 声学图像放大倍数大于200×
3.样品槽/工装/过滤系统
Ø 样品槽尺寸: 546mm×860mm×120mm(W×D×H)
Ø 机器内含自净过滤系统
4.软件
4.1控制软件KSI VISION
Ø 软件界面语言:英文
Ø 扫描模式:
1) 点扫描(A-Scan)
2) 纵剖扫描(B-Scan)
3) 横剖扫描(C-Scan)
4) 斜剖扫描(D-Scan)
5) 多层横剖扫描(X-Scan)
6) 多配置多层横剖扫描(G-Scan)
7) 序列扫描(Sequence-Scan)
8) 自动扫描(Auto-Scan)
9) 3D扫描(3D-Scan)
10) Z扫描(Z-Scan)
11) 高质量扫描(HQ-Scan)
Ø 保存图像格式:BMP、JPG、及保存所有尺寸及声波信号的原始声学图像格式(SAM、SAZ);
Ø 最大图像采样像素:32000×32000像素
Ø 最高采样分辨率:1um (1000像素/毫米)
Ø 最小门限时间:2ns
Ø 软件主要功能:
1) 扫描过程中调节增益、门限时间、门限位置、门限延迟;
2) 厚度和距离测量
3) 分层缺陷着色
4) 扫描图像复位功能,轻松重构超扫图像; l
5) 3D图像
6) 设置参数均会自动存储,包括:A波形图、功率设置、增益、数字门限延迟、门限宽度;
7) 阈值、正负波峰相位检测包括:幅值、均值、双极;
8) 被测样品扫描尺寸和定位选择、相位检测、表面跟踪、采样图像分辨率选择;
*4.2 三维图像扫描/旋转/剪切软件包KSI 4D VOLUME
Ø 能对声学图像进行三维扫描、旋转、剖切等处理,直观地再现被测样品的空间感。
*4.3 二维图像分析软件包 KSI VSION VIEW
Ø 易用的图像分析软件包KSI VSION VIEW,包括缺陷面积百分比统计、着色处理等常用的声学图像分析功能;
5.工控机配置:
Ø Intel酷睿双核处理器,核心频率大于2.6GHz
Ø 正版Windows10操作系统英文版
Ø 24寸 平板显示器 2个
Ø 128GB固态硬盘 + 1000 GB 机械硬盘
Ø 8 GB RAM 内存
可选配置包括如下:
① 能压制水花的防误判低噪探头,从5MHz, 10MHz, 30MHz, 40MHz, 50MHz ………….230MH, 300MHz,330Hz,400MHz可选 (共200个多,机器标配已含15MHz探头1个
② 二维图像缺陷分析软件包Ksi vision View
③ 三维图像缺陷分析软件包Ksi Volume4D
④ 主控软件离线版 Ksi Vision (该软件也可以在普通办公电脑上运行)
⑤ 透射探头套装
⑥ 双显示器配置
⑦ 定制特殊样品台
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