URE-2000/A12 紫外单面光刻机
1、设备主要技术指标:
(1) 曝光面积: 300mm×300mm;
(2)分辨力:±2μm;
(3)对准精度:±2μm;
(4)掩模尺寸: 7 英寸、9 英寸、13 英寸;
(5)样片尺寸: 6 英寸、8 英寸、12 英寸;
(6)wafer chuck 表面:防止光反射涂层;
(7)掩模样片整体运动范围:X:10mm;Y:10mm;
(8)掩模相对于样片运动行程:X:±5mm; Y: ±5mm; Thelta: ±6°;
(9)汞灯功率:1000W(直流);
(10)曝光能量密度:≥ 10mW/cm 2 ;
(11)曝光峰值波长:365nm;
(12)光源平行度:<2°;
(13)曝光方式:定时(计时方式 0.1s—9999.9s);
(14)光刻版夹具兼容性
2.技术主要组成部分
(1)曝光头系统包括:
。冷光椭球镜;
。 德国 OSRAM1000W 直流高压汞灯;
。 XYZ 汞灯调节台;
。 光学系统(冷光紫外平面反射镜、快门、蝇眼透镜组、冷光紫外抛物面反射镜);
。 冷却风扇。
(2)对准工件台系统包括:
。 掩模样片相对运动台;
。(XY),转动台;
。 样片调平机构;
。 样片调焦机构;
。承片台 3 个: 6 英寸、8 英寸、12 英寸;
。 掩模夹 3 个: 7 英寸、9 英寸、13 英寸。
(3)CCD 对准显微镜系统包括:
。4 倍显微镜 2 只;
。照明光源 2 套;
。 CCD 相机 2 只;
。22 英寸液晶显示器。
(5)电控系统:
。 汞灯触发电源(1000W);
。 单片机控制系统;
。控制柜桌。
(6)气动系统系统包括:
。 气缸、电磁阀、减压阀、气动开关,电磁阀驱动,气动仪表等
(7)其他配置与附件
。真空泵一台;
。空压机一台;
。配套气管 10m;
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