URE-2000S/35L(B)型双面光刻机
技术参数
。曝光面积:4 英寸
。光 源:紫外 LED
。曝光波长:365nm:20-40mW/cm2
。分辨力:1μm
。正面对准采用双目双视场对准显微镜:既可通过目镜目视对准,也可通过 CCD+显示器对准,光学合像,光学最 大倍数 400 倍,光学+电子放大 800 倍
物镜三对:4 倍、10 倍、20 倍
目镜三对:4 倍、10 倍、20 倍
。底面面对准:采用双显微物镜+CCD+采集卡+计算机合像,物镜轴距范围 10mm-148mm
。对准精度:± 2 μm(双面,片厚 0.8mm),Thelta: 0.6μm(单面)
。掩模尺寸:3 英寸、4 英寸、5 英寸
。样片尺寸:2 英寸、3 英寸、4 英寸,厚度 0.1mm--2mm(双面)
。曝光方式:定时(倒 计时方式)和定剂量
。照明不均匀性: 2.5%( Ф100mm 范围)22
。掩模相对于样片运动行程:X: ± 5mm; Y: ± 5mm; Thelta: ± 6 度
。调平接触压力通过传感器保证重复
。数字设定对准间隙和曝光间隙
。具备压印模块接口,也具备接近模块接口
。最 大胶厚:400 μm (SU8 胶,用户提供检测条件)
。光源平行性:2°
外形尺寸:1300mm(长)x900mm(宽) x1800mm(高)
配置
(1)曝光头
。冷光椭球镜
。LED 进口光源
。冷却模块
。光学系统:固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜 1、准直镜镜 2、蝇眼透镜组(79 个透镜)、i 线滤光片、场镜1、冷光反射镜 1、反射镜 2、能力调节器、微光学整形元件
(2)对准工件台
。掩模样片相对运动台
。转动台
。样片调平机构,自动完成
。样片调焦机构,气缸自动调
。承片台 3 个(2 英寸、3 英寸、4 英寸)
。掩模夹 3 个(3 英寸、4 英寸、5 英寸)
。掩模抽拉式上下机构
(3)双目双视场对准显微镜(可以选择带 CCD 型,目镜和监视器可同时观测)
。光源、电源
。双目双视场对准显微镜主体
。目镜 3 对(10 倍、16 倍、20 倍,共 6 个)
。物镜 3 对(4 倍、10 倍、20 倍,共 6 个)
。CCD 光学系统(选配件)
。XYZ 底面对准工件台23
(4)底面 CCD 对准系统
。光源、电源
。成像光学系统
。数据采集卡
。CCD
(5)电控系统
。单片机控制系统
。控制柜桌
。计算机系统(21 英寸宽屏液晶显示器)
(6)气动系统
。气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等
。电磁阀驱动
。气动仪表
(7)其他附件
。真空泵一台(无油泵)
。空压机一台 (音静泵)
。管道
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