- 为您推荐:
扫描电镜参数众多,皆可显示在图片下方工具栏中,但决定图像质量Z直接、Z关键因素是加速电压(EHT)、工作距离(WD)、放大倍数(Mag)和检测器种类。
1、加速电压
一般,加速电压越高,扫描电镜图像分辨率越高,当样品导电性好且不易受电子束损伤时可选用高加速电压,这时电子束能量大,对样品穿透深,材料衬度减小,图像分辨率提高。但加速电压过高,电子束对样品的穿透能力过大,样品表面信息缺失,样品看起来像玉一样。
纳克微束高分辨场发射扫描电镜 FE-1050系列
低加速电压时,入射电子能量较低,其与样品的作用深度较浅,更能反映样品Z表层的信息,有利于样品表层形貌的观察;此外,低加速电压可以有效地减少荷电现象,更易观察不导电样品。样品在10kV加速电压下边缘过亮,说明此处电荷大量积累,而用1kV加速电压拍摄的同一部位就没有明显的荷电现象。
因此,根据自己的要求灵活地选择加速电压,才能得到理想的扫描电镜图像。当需要观测样品的表面信息、样品的导电性较差、样品的热稳定性较差时,需要选择较低的,甚至是超低的加速电压。当需要得到分辨率高的图像、样品表面存在有机污染或是样品内部的相组成信息时,需要选择较高的加速电压。
2、工作距离
工作距离(WD)是物镜下极靴到样品表面的距离。工作距离增大时,样品上的束斑变大,分辨率下降,但孔径角减小,景深增加。同时,较大的工作距离可以实现极小倍数成像,放大倍数能够达到几十倍。通常工作距离可在2-45mm范围内选用。观察高分辨图像时可选用小于5mm的工作距离,配合探测器;而观察粗糙断口表面或较大的植物样品时可以选用10mm以上的工作距离,以获得较大的景深。
3、探测器种类
SE2和Inlens都是二次电子探测器,用于样品形貌检测。ASB探测器是背散射电子探测器,用于元素衬度成像。
4、放大倍数和标尺
扫描电镜放大倍数:体现线圈磁场变化控制电子束扫描区域大小的能力范围,是图像显示尺寸和电子束在样品扫描区域尺寸的线性比值,以M表示,如果样品上长度为Ls直线上的信息,在显像管上成像在Lc长度上,则放大倍数为:M=Lc/Ls。
现在的扫描电镜几乎全部用数码相机照相。每个厂家对放大倍数的定义均不相同。每个仪器上也会有很多放大倍数显示方法,比如本机Z常用的是标准放大倍数,即该扫描区域对应545底片上的倍数;此外还有屏幕放大倍数,即扫描区域对应电脑显示屏的放大倍数。因此对于不同扫描电镜,相同放大倍数下看到的区域不一定一样大。此时需要看标尺,所有扫描电镜上的标尺长度是一致的。
对于同一台扫描电镜,操作人员没有调节放大倍数显示方法的前提下,照的同一倍数的照片,大小一致。但有时同一放大倍数下,显示的标尺是不一样的,如有时5000倍的照片显示1μm的标尺,有时显示的是2μm的标尺,但标尺显示的长度是按比例的。
1、加速电压的选择
加速电压是扫描电镜的重要参数,一般来说,扫描电镜提供的加速电压的范围为0.2~30kV,需要根据种类和分析目的进行选择。
2、探针电流的选择
电子枪发射束流,经过聚光镜调节,会聚成更小的束斑尺寸入射样品,其对应的束流称为探针电流,探针电流大,束斑尺寸相应增加。
3、物镜光阑的选择和调整
扫描电镜观察上千倍图像时,如果反复调焦发现图像跑动,说明物镜光阑不合轴。
激活选区扫描,套住图像中某个特征物,选用震动功能,图像发生不规则跑动,分别仔细调节X和Y两个旋钮,使图像不跑动,只是如同呼吸一样原地闪动,这时光阑合轴调好了,关闭震动功能。调高倍率图像时,在电子枪合轴后,物镜光阑必须合轴,才能消像散。
4、相消散
扫描电镜观察高倍图像时,反复调焦都不清楚,图像在相互垂直方向上有模糊边,必须予以消除。
消像散操作有三种选择:
①点击下拉菜单的消像散图标,拖动鼠标左键分别上下或左右移动,使模糊边尽量减小,再调焦,清晰度有所改善,该过程反复进行,直到图像清晰。
②在光阑板面点击消像散,分别拖动XY坐标线的两个方向滑尺,减小模糊量。
③利用手动操作板上的两个消像散旋钮,分别缓慢转动,消除模糊边。
5、EDS操作
EDS也是扫描电镜的一个Z常用的功能。扫描电镜通常配备能谱仪,可以对样品进行微区成分分析。
能谱分析注意事项有以下三点:
①工作距离要调整到8.5mm,以保证探测器与样品表面夹角35°。
②加速电压EHT选择20kV是个折中值,可以满足大部分元素分析。原子序数较低的元素EHT可以选择较低值。
③扫描电镜定量分析要求较高的计数率,束流Iprobe可以选较高值,只要能谱死时间<30%即可正常工作。
03-14
03-14
03-14
03-14
03-14
03-14
①本文由仪器网入驻的作者或注册的会员撰写并发布,观点仅代表作者本人,不代表仪器网立场。若内容侵犯到您的合法权益,请及时告诉,我们立即通知作者,并马上删除。
②凡本网注明"来源:仪器网"的所有作品,版权均属于仪器网,转载时须经本网同意,并请注明仪器网(www.yiqi.com)。
③本网转载并注明来源的作品,目的在于传递更多信息,并不代表本网赞同其观点或证实其内容的真实性,不承担此类作品侵权行为的直接责任及连带责任。其他媒体、网站或个人从本网转载时,必须保留本网注明的作品来源,并自负版权等法律责任。
④若本站内容侵犯到您的合法权益,请及时告诉,我们马上修改或删除。邮箱:hezou_yiqi
扫描电镜产品导购
扫描电镜产品资料
扫描电镜产品问答
扫描电镜产品厂家
最新资讯
看过该文章的人还看了以下文章