扫描电镜使用方法
扫描电镜通过电子束在样品上进行逐点扫描，获得三维立体图像，图像观察视野大、景深长、富有立体感。在观察样品表面形貌的同时，进行晶体学分析及成分分析。
扫描电镜的原理
在5～30 KV 加速电压作用下，扫描电镜电子枪发出几十微米直径的电子束，经diyi、第二光镜及末透镜缩小成直径约几十埃的电子探针，会聚在样品上。在位于第二聚光镜和物镜之间的扫描线圈作用下，电子探针在样品表面作光栅状扫描并激发多种电子信号。这些电子信号被相应地收集检测系统收集，经放大并转换成电信号，被送到显像管栅极用以调制显像管的亮度。显像管中的电子束在荧光屏上也作光栅状扫描，这种扫描运动与样品表面电子束扫描运动严格同步。
所以，由探测器逐点检测的电子信号，将一一对应调制显像管相应点的亮度。即电子束在样品表面与显像管的严格同步扫描，使得电子像衬度与所接收信号强度一一对应，由此获得反应样品表面形貌或成分特征的扫描电镜图像。
扫描电镜使用步骤
一、开机(电源开关和准备开关均为打开状态)
1、开水(系统不报警方可);
2、开扫描电镜总电源;
3、电气柜后面开关打开，将自动/手动(AUTO/MAN)开关拔到自动(AUTO)的位置，此时电炉进行加热;
4、抽真空30分钟后，断开准备开关;
5、开扫描电镜系统软件;
6、打开主机前面面板上的电气柜开关，抽真空10分钟。
二、准备观测图像
1、打开V1阀，此时镜筒真空已准备好，用左手延径水平方向拉开V1阀，阀杆下面的弹片将V1阀固定在打开位置;
2、加高压(30KV)导电性不好的产品(20-25KV)，加高压时Z好按着每步的速度逐步增加，如果长按按钮，高压会连续快速增加，不容易控制到要求的数值;
3、调节扫描电镜对比度和亮度：①调节对比度，使图像上出现一些噪声为Z佳，一般情况下在60左右;②调节图像亮度，使屏幕显示的灰度合适，一般情况下，相应的数字参数值为0-20左右;
4、加灯丝：顺时针慢慢旋转灯丝加热旋钮，直至发射束流饱和，灯丝加热旋钮指示正常在6-7之间，调节偏压束流为100uA左右;
5、机械对中：扫描电镜每次换灯丝后需旋转镜筒头上的三个螺钉，使图像显示到Z清楚的点;
6、物镜光阑对中(合轴)：①选区，并挑选图像上的一个特征点;②选择放大倍数1000-2000范围;③反复调节粗调，使图像聚焦至不聚焦往反进行，观察图像的移动;④调节物镜光阑的两个螺钮，使图像不发生位移或图像移动Z小为止;
7、像散消除：选择“选区”位置，从放大倍数1000倍开始消像散，增加到欲观察的放大倍数下再次消像散直至图像没有拉长现象;
8、拍照、保存。
三、系统停机
1、关闭扫描电镜加热灯丝：逆时针旋转灯丝加热旋钮到底，旋钮标记指示在“ON”的位置，束流显示的束流为0UA;
2、将对比度降至Zdi，使其数字参数值为0，关闭高压，使其数字参数值为0;
3、关闭V1阀：用左手将V1阀阀杆下面的弹片沿上按在阀杆上，用手掌径向水平推V1阀，当V1阀完全推到底后，再用力推一下V1阀的阀杆，确保V1阀完全关闭;
4、关闭扫描电镜主机面板上的电气柜开关，打开准备开关，将主机后的开关自动/手动(AUTO)/(MAN)打到手动(MAN)的位置，冷却电炉30分钟。
5、关闭系统软件→关电气柜开关→关总电源→关水。
扫描电镜注意事项
1、进入工作室严禁大声喧哗;
2、在真空度没有达到要求之前，镜筒隔离阀V1决不能打开;
3、在扩散泵开始加热二十分钟期间，主阀V5决不能打开;
4、真空控制方式从手动转自动时，要特别注意每个手动阀门是否为关闭状态;
5、在没有进入高真空之前，决不能接通探测器高压，电子枪及灯丝加热电源;
6、不要在关控制台电源的同时，立刻放气到样品室和电子枪，以免引起电子枪探测器上残余高压放电，损坏灯丝及闪烁体;
7、不要在扫描电镜通电情况下，进行印刷板及导线插头的插接;
8、如果镜筒部分没有放气，不要拔掉物镜光阑杆;
9、在样品室放气的情况下，不要手动打开主阀和V1阀;
10、长时间不使用扫描电镜时，每周至少保持抽真空两次，保持机器内真空度良好;
11、观察机械泵的油不少于2/3;
12、停水的时候，机器会出现报警，此时将主机后面板打开，接一盆凉水，用湿布给电炉手动降温，直至电炉不再热为止(30分钟左右)Z后再关闭电气柜开关和总电源。
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