扫描电镜分类

　　扫描电镜全称扫描电子显微镜，是自上世纪60年代作为商用电镜面世以来，迅速发展起来的一种新型的电子光学仪器，被广泛地应用于化学、生物、医学、冶金、材料、半导体制造、微电路检查等各个研究领域和工业部门。

扫描电镜的种类

　　目前市场上提供的商品扫描电镜有：场发射扫描电镜(FEG-SEM)、常规扫描电镜(CSEM)以及生物用扫描电镜。

纳克微束高分辨场发射扫描电镜 FE-1050系列

　　场发射扫描电镜：

　　场发射扫描电镜属于高分辨型电镜，使用场发射枪，如同也一个2000W特种电源，亮度高，可以照明样品各个部位的细节，电子束斑直径不小于1nm。能把样品1nm尺度的细节成像，可以真正实现低加速电压下工作。

　　由于场发射电子枪具有亮度高、能量分散少，阴极源尺寸小等优点，场发射扫描电镜的分辨率已达到3nm。场发射扫描电镜的另一个优点是可以在低加速电压下进行高分辨率观察，因此可以直接观察绝缘体而不发生充、放电现象。

　　提供的高分辨率图像可以与同样放大倍率下的透射电镜图像进行对比。现代场发射扫描电镜克服了早期电子源不稳定和使用麻烦的缺点，场发射电子枪参数一经设定后，全部由计算机控制，使用是只需要选定加速电压就可以操作，几十调10万倍图案，也是轻而易举的事情。为此电镜厂家在电子枪的选用、透镜像差校正、信号探测和高真空系统等方面进行了精心设计和制造，追求分辨率的提高，由此可见，分辨率值使反应电镜综合性能的唯yi指标。场发射扫描电镜目前已经大量应用于半导体、电脑、材料等领域。

　　常规扫描电镜：

　　常规扫描电镜使用热电子枪，与场外发射枪相比，相当10W白炽灯，亮度有限，束斑直径较大。目前，常规扫描电镜采用热发射电子枪，分辨率为6nm左右，若采用六硼化镧电子枪，分辨率可提高到4～5nm。

　　常规扫描电镜和场发射扫描电镜分辨相差不大，但想要获得一张3NM分辨率的图像，不是任何一个人是可以实现的，这已经是目前的极限值。至于放大倍率可达到300kx，则没有任何实际意义，因为束斑直径明显大于该倍率下的像元值，分辨率受到束斑直径的限制，但是对于大量的常规检测，常规扫描电镜因其价格便宜，适用性强，维护费用低而不可或缺。

　　生物用扫描电镜：

　　生物用扫描电镜备有冰冻冷热样品台，可把含水生物样品迅速冷冻并对冰冻样品进行观察，可以减少化学处理引起的人为变化，使观察样品更接近于自然状态。如要观察内部结构，还可用冷刀把样品进行切开，加温使冰升华，并在其上喷镀一层金属再进行观察，所有这些过程都在扫描电镜中不破坏真空的状态下进行。

扫描电镜分类方法

　　按照电子枪种类分：钨丝枪、六硼化镧、场发射电子枪(冷场发射、热场发射);

　　按照样品室的真空度分：高真空模式、低真空模式、环境模式(冷热高压低压等等);

　　按照真空泵分：油扩散泵、分子泵;

　　按照自动化程度分：自动、手动;

　　按照操作方式分：旋钮操作、鼠标操作;

　　按照电器控制系统分：模拟控制、数字控制;

　　按照图像显示系统分：模拟显像、数字显像。